[实用新型]一种软体离子反应复合膜机

说明书

本实用新型公开了一种软体离子反应复合膜机，包括机体，机体的内部通过差压板分隔为蒸发室和真空室两个腔室，差压板的中部设有开口，开口的内部设有电子束蒸发源，电子束蒸发源的顶端通过弧形电子通道置于真空室的内部设有电子枪，电子束蒸发源的表面缠绕有S型水冷管，蒸发室一侧的底部和真空室底端的中部均开设有真空通道。本实用新型通过设有的基板起到承载离子复合膜的作用，通过设有的温控开关起到感应蒸发室内部温度的作用，从而控制红外加热灯管工作，使得内部的温度升高，从而提高软体离子反应的效率，通过设有的电机驱动扇叶转动，从而使得蒸发室内部的温度均匀且鼓入基板上，降低了温度对离子反应造成的影响。

技术领域

本实用新型涉及复合膜机技术领域，具体为一种软体离子反应复合膜机。

背景技术

离子复合是在真空蒸发复合和溅射复合膜的基础上发展起来的一种复合膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。离子复合大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域。是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲，离子复合膜的特点是：复合膜时，工件(基片)带负偏压，工件始终受高能离子的轰击。形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕复合性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层。

传统的离子复合膜机结构复杂，造价高昂，且条件苛刻，不适用于中小型企业使用，且在进行复合膜时，基板直接受到离子轰击，会对基板造成损坏，同时轰击的面不均匀，会造成复合膜的厚度不一，电子束蒸发源在长时间工作后，一直处于高温状态，对其本身造成严重的符合，需要经常更换电子束蒸发源，造成成本的增高，同时现有的离子复合膜机缺少对内部温度的控制，从而会导致温度过高会过低对离子反应产生影响，因此我们对此做出改进，提出一种软体离子反应复合膜机。

实用新型内容

为解决现有技术存在的结构复杂、缺少对温度的控制且效率低的缺陷，本实用新型提供一种软体离子反应复合膜机。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种软体离子反应复合膜机，包括机体，所述机体的内部通过差压板分隔为蒸发室和真空室两个腔室，所述差压板的中部设有开口，所述开口的内部设有电子束蒸发源，所述电子束蒸发源的顶端通过弧形电子通道置于真空室的内部设有电子枪，所述电子束蒸发源的表面缠绕有S型水冷管，所述蒸发室一侧的底部和真空室底端的中部均开设有真空通道，两个所述真空通道的一端分别连接有第一真空机组和第二真空机组，所述蒸发室的内部穿插连接有气体管道，所述气体管道的一端置于蒸发室的内部套接有反应气体导入环，所述气体管道的顶部置于蒸发室的内侧壁固定安装有探极，所述蒸发室的两个内侧壁均设有红外加热灯管，所述蒸发室其中一个内侧壁的顶部固定安装有温控开关，所述机体内部的顶端设有扇叶，所述机体的顶端固定安装有电机，所述电机的输出轴与转轴传动连接，所述转轴的一端穿过机体与扇叶中部设有的套环连接，所述扇叶的底部置于蒸发室的内部设有基板，所述基板的两端均通过连接杆与蒸发室的两个内侧壁固定连接，所述红外加热灯管和电机均通过温控开关与电源电性连接，所述探极、第一真空机组和第二真空机组均通过开关与电源电性连接。

进一步的，所述S型水冷管的两端分别穿过机体置于机体底部的两端。

进一步的，所述探极与气体管道的位置相对。

进一步的，所述机体顶部的一端固定设有进出料口。

进一步的，所述红外加热灯管的中部固定设有安装座。