[实用新型]一种改进型LOW-E玻璃旋转靶有效
申请号: | 201820277244.8 | 申请日: | 2018-02-28 |
公开(公告)号: | CN207973796U | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 龙永红;叶光岱;卢小刚 | 申请(专利权)人: | 广东旗滨节能玻璃有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人: | 罗丹 |
地址: | 517300 广东省河*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 靶材 改进型 旋转靶 背管 倒角 本实用新型 加工设备 放电 废品 紧贴 相距 采购 | ||
1.一种改进型LOW-E玻璃旋转靶,其特征在于:包括靶材和靶材背管,所述靶材紧贴在所述靶材背管的外表上,所述靶材上设有倒角,所述倒角位于所述靶材的端部上,所述倒角底部与靶材背管相距1-5mm。
2.根据权利要求1所述的改进型LOW-E玻璃旋转靶,其特征在于:
所述靶材的端部设有凸块,所述倒角位于所述凸块的最外端。
3.根据权利要求2所述的改进型LOW-E玻璃旋转靶,其特征在于:
所述凸块高于所述靶材工作部位1-4mm。
4.根据权利要求1所述的改进型LOW-E玻璃旋转靶,其特征在于:
所述倒角为45°-80°。
5.根据权利要求1所述的改进型LOW-E玻璃旋转靶,其特征在于:
所述靶材背管比所述靶材长,所述靶材背管上设有连接槽位,所述连接槽位位于靶材背管超出靶材的部位上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东旗滨节能玻璃有限公司,未经广东旗滨节能玻璃有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820277244.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种为超音速等离子喷涂形成保护气罩的装置
- 下一篇:一种磁控溅射磁场结构
- 同类专利
- 专利分类