[实用新型]锯线及切断装置

说明书

本实用新型涉及锯线及具备该锯线的切断装置。锯线(10)具备由钨或钨合金形成的金属线，金属线的表面粗糙度Ra为0.15μm以下，金属线的弹性模量为350GPa以上且450GPa以下，金属线的抗拉强度为3500MPa以上，金属线的线径为60μm以下。

技术领域

本实用新型涉及锯线及具备该锯线的切断装置。

背景技术

以往，已知有使用由钢琴丝形成的线来切割硅锭的多线锯(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-213111号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的问题

就线锯而言，会产生线的线径程度的切削废渣。在上述以往的多线锯中，利用了由钢琴丝形成的线，但钢琴丝的细线化困难。具体而言，现状是线径小于60μm的钢琴丝的制造困难，且由于钢琴丝的弹性模量为150GPa～250GPa，所以即使假定能够细径化也会在切割时产生挠曲。因此，细径化后的钢琴丝不适合线锯的切割。

于是，本实用新型的目的是提供能够减少切断对象物的损耗的锯线及具备该锯线的切断装置。

用于解决问题的手段

为了达成上述目的，本实用新型的一方式所述的锯线具备由钨或钨合金形成的金属线，上述金属线的表面粗糙度Ra为0.15μm以下，上述金属线的弹性模量为350GPa以上且450GPa以下，上述金属线的抗拉强度为3500MPa以上，上述金属线的线径为60μm以下。

此外，本实用新型的一方式所述的切断装置具备上述锯线。

实用新型的效果

根据本实用新型，能够提供能够减少切断对象物的损耗的锯线及具备该锯线的切断装置。

附图说明

图1是实施方式所述的切断装置的立体图。

图2是表示利用实施方式所述的切断装置的锭的切割的状况的截面图。

图3是表示实施方式所述的锯线的制造方法的推移图。

符号的说明

1切断装置

10锯线

具体实施方式

以下，对于本实用新型的实施方式所述的锯线及切断装置，使用附图进行详细说明。另外，以下说明的实施方式均表示本实用新型的一具体例子。因此，以下的实施方式中所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置及连接形态、步骤、步骤的顺序等为一个例子，不是限定本实用新型的主旨。因而，在以下的实施方式中的构成要素中，关于在表示本实用新型的最上位概念的独立权利要求中没有记载的构成要素，作为任选的构成要素进行说明。

此外，各图是示意图，不一定被严密地图示。因此，例如，各图中比例尺等不一定一致。此外，在各图中，对于实质上同一构成标注同一符号，重复的说明省略或简化。

此外，在本说明书中，平行或相等等表示要素间的关系性的用语、及圆形等表示要素的形状的用语、以及数值范围并非仅表示严格的意思的表述，而是意味着也包含实质上同等的范围、例如数个百分比左右的差异的表述。

(实施方式)

[切断装置]

首先，对于具备本实施方式所述的锯线的切断装置的概要，使用图1进行说明。图1是本实施方式所述的切断装置1的立体图。