[实用新型]一种镀膜治具

说明书

本实用新型涉及一种镀膜治具，包括：工件盘；支撑板，沿所述工件盘周向支承在所述工件盘上；翻转机构，用于支承并翻转所述支撑板。本实用新型的镀膜治具，在工件盘上周向设有支撑板，将待镀膜镜片装夹在支撑板上，能够有效保证镀膜膜厚均匀，同时，本实用新型的翻转机构能够将支撑板进行翻转，实现镜片双面高效镀膜。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜治具。

背景技术

随着光学行业的快速发展，越来越多种类的产品需要进行镀膜来改变光学特性。PVD镀膜设备产品需要使用治具进行装载，放在镀膜机扇形板上进行镀膜。真空镀膜膜料蒸发分子沿直线运动，不同曲率的镜片、非球面镜片的不同区域由于蒸发入射角度不一致，导致镜片中心与边缘膜厚分布差异大，且球形镜片边缘四个方向膜厚差异特别大。目前行业中只有、平面型、球罩型两种工件盘，平面型可以实现扇形板翻板进行双面镀膜，生产效率高但是产品边缘膜厚差异大，造成镜片的光学性能差。球罩型通过曲率调整可以解决镜片边缘膜厚差异，但是不能实现翻板双面镀膜，效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述技术问题，提供一种镀膜治具，在可以双面镀膜保证效率的同时，保证镀膜膜厚均匀。

为实现上述目的，本实用新型提供一种镀膜治具，包括：

工件盘；

支撑板，沿所述工件盘周向支承在所述工件盘上；

翻转机构，用于支承并翻转所述支撑板。

根据本实用新型的一个方面，所述支撑板包括第一支撑和第二支撑，所述第一支撑和所述第二支撑均设有镜片装夹区，所述第一支撑和所述第二支撑通过限位铰链连接。

根据本实用新型的一个方面，所述第一支撑为一块平面板。

根据本实用新型的一个方面，所述第一支撑包括至少两块铰接的平面板。

根据本实用新型的一个方面，所述第二支撑包括至少两块铰接的平面板。

根据本实用新型的一个方面，所述平面板包括叠加设置的上层板和下层板。

根据本实用新型的一个方面，所述上层板和所述下层板之间设有弹性件。

根据本实用新型的一个方面，所述翻转机构为凸轮传动机构、齿轮传动机构或链传动机构。

根据本实用新型的一个方面，所述工件盘包括：

上固定座，沿外周向设有凹槽；

下固定座，与所述上固定座同轴地设置在所述上固定座下方；

多个支撑杆，等间距地连接所述上固定座和所述下固定座；

所述支撑板设置在相邻支撑杆之间并支撑在所述凹槽内。

根据本实用新型的镀膜治具，镀膜蒸发光源设置在工件盘的下方，支撑板沿着工件盘周向布置，支撑板用于装夹待镀膜镜片。每个支撑板包括通过限位铰链相互铰接的第一支撑和第二支撑，通过调整限位铰链，可以使支撑板具有一定的弧度或者具有一定的倾斜角度，在镀膜时能够避免对于蒸发光源的遮挡，可以使得支撑板上不同区域的镜片相对于镀膜蒸发光源具有相同的蒸发角度，就保证了镀膜镜片边缘一周的膜厚均匀性一致。如对球面镜片镀膜时，根据镜片曲率半径来调整限位铰链进而调整支撑板具有相应的弧度，来保证镀膜膜厚均匀。当然，通过调整限位铰链，也可以使第一支撑和第二支撑组成的支撑板为平面板，如此便能够对平面镜也可以镀膜。如此保证了本发明的镀膜治具对球面镜片和平面镜片均可以镀膜，并且能够保证镀膜膜厚均匀性一致。

同时，本实用新型的镀膜治具设有翻转机构，可以在位于支撑板上的镜片在朝向蒸发光源的一侧镀膜完成后，将支撑板进行半周翻转，对镜片的另一侧进行镀膜，有效地提高了镀膜效率。