[实用新型]一种制造厚壁石英玻璃管的装置

说明书

本实用新型公开了一种制造厚壁石英玻璃管的装置，涉及石英玻璃管制造设备技术领域。该制造厚壁石英玻璃管的装置，包括炉体，所述炉体两侧面的底部固定连接有两个支撑腿，所述炉体顶部的内腔插接有密封盖，所述密封盖的左侧面和炉体左侧面的顶部均通过合叶铰接，所述密封盖的右侧面和炉体右侧面的顶部均通过密封扣卡接。该制造厚壁石英玻璃管的装置，可以通过炉体内部设置的两个加热器，可以提高石英玻璃成型的速率，也提高了石英玻璃管的产品质量，再通过炉体外部设置的冷水循环装置和炉体底部设置的升降装置，可以使得炉体具有自动降温、快速取出石英产品的功能，这样就能够进一步提高制造石英玻璃管装置的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及石英玻璃管制造设备技术领域，具体为一种制造厚壁石英玻璃管的装置。

背景技术

石英玻璃被广泛的运用于各种应用中。尤其是厚壁石英玻璃管，被用于半导体和光纤制造领域等。为制造这种管材，目前可以使用天然和合成的石英材料。天然石英包括从自然界中形成的石英经过物理和化学选矿得到的粒状原料(石英砂)。在合成石英中，其都是由含有SiO2的溶剂或蒸汽以高纯度的沉淀和沉积物而获得的。

现有技术中制造厚壁石英玻璃管的装置，包括炉体，炉体中设有坩埚，在石墨坩埚的外围有加热器，在真空或含有氦或氢的惰性气体或还原性气体氛围中对坩埚中的石英砂进行加热，使石英砂融化，并将融化后的石英冷却，从而形成管状石英玻璃。这种制造石英管的装置，由于其加热器设置在坩埚的外围，且坩埚中堆积的石英砂的热传导性不好，最终导致需要较长的加温时间，并且温度分布不均匀，靠近加热器的外部石英砂的温度高，而内部的石英砂温度低。所以往往在制造过程中，需要很长的加热时间，并且因为温度分布不均匀，所制的石英产品质量不高，还有就是现有的制造石英玻璃管装置缺少冷却装置，这样装置的内部形成石英玻璃管的时候，不能够做到及时散热，以至于不能够快速把制成好的石英玻璃管取出来，以至于降低了装置对石英玻璃管加工制造的工作效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种制造厚壁石英玻璃管的装置，解决了制造厚壁石英玻璃管装置加热的温度分布不均匀、导致了石英玻璃管质量差、不具有快速降温功能、工作效率低的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种制造厚壁石英玻璃管的装置，包括炉体，所述炉体两侧面的底部固定连接有两个支撑腿，所述炉体顶部的内腔插接有密封盖，所述密封盖的左侧面和炉体左侧面的顶部均通过合叶铰接，所述密封盖的右侧面和炉体右侧面的顶部均通过密封扣卡接，所述密封盖顶面的左端连通有进气管，所述进气管的顶端固定安装有第一电磁阀，所述密封盖顶面的右端连通有抽气管，所述抽气管的顶端固定安装有第二电磁阀，左侧所述支撑腿底部的左侧设置有压力泵，所述压力泵的左侧设置有冷水箱，所述冷水箱右侧面的底部与压力泵左侧的抽水口之间通过抽水管连通，所述压力泵右侧的出水口连通有出水管，所述出水管远离压力泵的一端包裹在炉体的外表面，所述出水管的末端与冷水箱右侧面的顶部连通，所述炉体的内壁固定安装有隔热板，所述炉体内腔的中心处设置有坩埚，所述坩埚底端的表面套接有升降台，所述坩埚底面的中心处固定连接有芯柱，所述芯柱的内部固定安装有第一加热器，所述升降台的两侧并位于炉体内腔的底面固定安装有两个第二加热器，两个所述支撑腿相对一面的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板底面的中心处固定安装有气缸，所述气缸的顶部设置有活塞杆，所述活塞杆的顶端分别贯穿支撑板和炉体底部的中心处并与升降台的底面固定连接，所述活塞杆顶端的外部并位于升降台的底面固定连接有密封垫。

优选的，所述密封盖顶面的中心处固定安装有把手。

优选的，所述支撑腿的数量有四个，且四个支撑腿分布在炉体底部表面的四角处。

优选的，所述升降台的内壁与坩埚的外表面之间的距离为一至两毫米。

优选的，所述出水管远离压力泵的一端均匀包裹在炉体的表面。