[实用新型]一种基于LCOS技术的LED曝光机

权利要求书

1.一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，包括LED光源（1）、第一透镜组（2）、积分棒（3）、第二透镜组（4）、偏振分光元件PBS（5）、LCOS（6）、投影系统（7）和待曝光工件（8），其中LED光源（1）发出的光通过第一透镜组（2）会聚进入积分棒（3），经积分棒（3）匀光后再通过第二透镜组（4）和偏振分光元件PBS（5）成像到LCOS（6）上，光源发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（5）反射后进入投影系统（7），通过投影系统（7）投射到待曝光工件（8），使待曝光工件（8）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。

2.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述LED光源（1）的波长范围为350~470nm。

3.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述第一透镜组（2）用于对LED光源（1）发出的光进行会聚，由N≥2片透镜组成，透镜可以是球面透镜，也可以是非球面透镜，透镜通光孔径范围为10~120mm。

4.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述积分棒（3）用于对LED光源（1）发出的光进行匀光，并整形成和LCOS（6）长宽比相匹配的光斑。

5.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述第二透镜组（4）成像到LCOS（6）上，由N≥2片透镜组成，透镜可以是球面透镜，也可以是非球面透镜，透镜通光孔径范围为10~120mm。

6.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述偏振分光元件PBS（5）可以是偏振分光棱镜也可以是偏振分光片，偏振分光元件PBS（5）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角。

7.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述LCOS（6）是一种反射元件，使入射p型偏振光转变成s型偏振光，同时通过控制LCOS（6）上每个像素的开关形成所需图形，LCOS（6）反射后的光线作为曝光图案的发生源，所述LCOS（6）具有大于等于1920 x 1080的分辨率。

8.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述投影系统（7）用于把光投影到待曝光工件（8），投影系统由透镜组组成，可以是放大系统，也可以是缩小系统。

9.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，所述待曝光工件（8）的表面是一平面，和光路垂直。