[实用新型]一种可改变自转周期的蒸镀行星锅

说明书

本实用新型公开一种可改变自转周期的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅外缘设置齿，轨道上设置与所述齿啮合的齿型凹槽，行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内；所述硅晶圆外侧设置锅盖。本实用新型的优点是：由于行星锅的齿圈可换，因此，可更改齿的结构及大小，将齿圈与轨道上的齿型凹槽进行更改从而可更改行星锅的自转速度。

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，具体说是一种蒸镀装置。

背景技术

现有的蒸镀设备结构形式很多，典型的是硅晶圆紧贴行星锅体，该结构在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂；现有的行星锅的自转一般采用结构复杂的驱动系统，不仅成本较高，而且稳定性不好。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种行星锅，可有效解决上述技术问题，具体技术方案如下：

一种蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅外缘设置齿，轨道上设置与所述齿啮合的齿型凹槽，行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内；所述硅晶圆外侧设置锅盖。

所述行星锅边缘的齿设置在圆形齿圈上，所述齿圈与行星锅有螺母固定。

本实用新型的优点是：

由于行星锅的齿圈可换，因此，可更改齿的结构及大小，将齿圈与轨道上的齿型凹槽进行更改从而可更改行星锅的自转速度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图具体说明本实用新型，如图所示，本实用新型包括电机1、支架2、支撑臂3、行星锅4及坩埚6；电机1带动支架2旋转，支撑臂3的一端与支架2固定，支撑臂3的另外一端与行星锅4的转轴轴接；行星锅4边缘设置齿圈5，齿圈5的齿与轨道8上齿型凹槽啮合，使得行星锅4自转；电子束轰击坩埚6内的源7，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅4内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，硅晶圆外侧设置锅盖。