[实用新型]一种主动互补真空退火炉的降温装置有效
申请号: | 201820296387.3 | 申请日: | 2018-03-04 |
公开(公告)号: | CN207973784U | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 汤海燕;王俭锋 | 申请(专利权)人: | 汇隆电子(金华)有限公司 |
主分类号: | C21D9/00 | 分类号: | C21D9/00;C21D1/773;C21D11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 321000 浙江省金华市经*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调温器 降温仓 调温 真空退火炉 机械抽气 降温装置 水冷降温 炉主体 通气管 冷凝 冷却 真空管 本实用新型 抽真空泵 抽真空管 电加热片 电能成本 水冷循环 水循环管 退火设备 补充式 真空泵 铰接 前仓 水冷 焊接 相通 消耗 悬挂 | ||
1.一种主动互补真空退火炉的降温装置,包括炉主体(1)、补偿通气管(2)、互补调温器(3),所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体,其特征是:所述互补调温器包括调温仓(4)、冷凝抽真空管(5)、机械抽气真空管(6)、冷凝抽真空泵(7)、机械抽气真空泵(8),互补调温器包括调温仓内设置电加热片堆(9),补偿通气管连接冷凝抽真空泵,机械抽气真空管连接机械抽气真空泵,机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接,调温仓通过补偿通气管和炉主体连接;所述调温仓的前仓壁(101)上焊接或铰接有降温仓(14),降温仓内悬挂有水冷降温循环堆(102),水冷降温循环堆通过水循环管和降温仓外设置的水冷循环泵(15)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种主动互补真空退火炉的降温装置,其特征是:所述降温仓包括外开仓盖(103)、外立壁(104)、底壁(105),底壁中心设置降温口(106)和调温仓向通,外立壁一侧设置水冷降温循环堆的水循环接口(107),底壁在降温口边沿贴合设置T形架(108),降温仓内的水冷降温循环堆底部垫接有悬置抽拉板(109),悬置抽拉板的前端朝向外开仓盖一侧竖向设置竖向伸缩架杆(110)。
3.根据权利要求1所述的一种主动互补真空退火炉的降温装置,其特征是:所述机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接处的后方,冷凝抽真空管设置双向气阀,双向气阀上安装设置流量控制器。
4.根据权利要求1所述的一种主动互补真空退火炉的降温装置,其特征是:所述调温仓底部设置暂存气仓(10),暂存气仓通过双向通气管连接调温仓。
5.根据权利要求1所述的一种主动互补真空退火炉的降温装置,其特征是:所述补偿通气管包括1只单向管(11),1只双向管(12),单向管上设置单向气阀。
6.根据权利要求1或5所述的一种主动互补真空退火炉的降温装置,其特征是:所述调温仓内设置若干温度感应器(13)。
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