[实用新型]一种真空镀膜机用冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机用冷却装置，包括镀膜机，镀膜机的外侧的中部套接有外机壳，所述外机壳的顶部固定连接有水箱，所述水箱两侧底部的中部均贯穿连接有挡板，所述外机壳底部两侧的正面与背面均固定连接有立柱，所述立柱外侧的中部套接有限位块，所述立柱外侧的底部套接有弹簧，所述限位块相对一侧的中部固定连接有底板，所述底板的顶部搭接有回收箱。本实用新型通过外机壳、水箱、挡板、侧板、进水孔和回收箱的配合使用，解决了传统镀膜机散热装置散热效率相对较低以及镀膜机冷却用水造成不环保的问题，通过立柱、限位块、弹簧、支撑脚和底板的配合使用，使解决镀膜机冷却装置不具备减震缓冲效果的问题。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机设备技术领域，具体为一种真空镀膜机用冷却装置。

背景技术

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长) 形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却速度慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，而且这种冷却方式与镀膜机的接触面积有限而且由于不能够直接与镀膜机直接接触导致其冷却效率相对较低。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却装置，解决了镀膜机冷却效率相对较低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机用冷却装置，包括镀膜机，镀膜机的外侧的中部套接有外机壳，所述外机壳内壁的两侧和底部均固定连接有支柱，所述支柱远离外机壳的一侧均固定连接有连接板，所述连接板远离支柱的一侧均与镀膜机的外侧固定连接，所述外机壳的顶部固定连接有水箱，所述水箱两侧底部的中部均贯穿连接有挡板，所述挡板相对的一侧均贯穿水箱并延伸至水箱的内腔，所述挡板远离水箱的一侧固定连接有侧板，所述侧板的底部搭接在外机壳的顶部，所述外机壳底部两侧的正面与背面均固定连接有立柱，所述立柱外侧的中部套接有限位块，所述立柱外侧的底部套接有弹簧，所述立柱的底部固定连接有支撑脚，所述限位块相对一侧的中部固定连接有底板，所述底板的顶部搭接有回收箱。

优选的，所述水箱内壁底部的两侧均等距离开设有进水孔，所述进水孔位于挡板的正下方。

优选的，所述弹簧的顶部与限位块的底部固定连接，所述弹簧的底部与支撑脚的顶部固定连接。

优选的，所述外机壳底部的两侧均固定连接有出水管，所述回收箱位于出水管的正下方。

优选的，所述镀膜机位于外机壳的内腔，所述外机壳的长度大于镀膜机的长度。

优选的，所述回收箱的容量与水箱的容量相等。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却装置，具备以下有益效果：

(1)该真空镀膜机用冷却装置，通过外机壳、水箱、挡板、侧板、进水孔和回收箱的配合使用，使得经过进水孔流进外机壳内腔的冷水能够第一时间与镀膜机进行接触且沿着镀膜机的外壁进行流淌，从而达到快速为镀膜机进行降温散热处理的目的，解决了传统镀膜机散热装置散热效率相对较低的问题。

(2)该真空镀膜机用冷却装置，通过外机壳、镀膜机、出水管、底板和回收箱的配合使用，使得经过降温处理的热水能够及时流出被集中回收处理，从而达到重复循环利用水资源的目的，解决了镀膜机冷却用水造成不环保的问题。