[实用新型]一种精密气体流量控制反馈真空装置有效
| 申请号： | 201820306100.0 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208125208U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 周炎文 | 申请（专利权）人： | 武汉普迪真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/78 | 分类号： | G01F1/78;G01F1/86;G01F15/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体流量控制 底板 真空装置 万向轮 真空机 精密 本实用新型 连接腿 支撑腿 反馈 移动 底部活动 卡块 搬运 便利 贯穿 延伸 | ||
1.一种精密气体流量控制反馈真空装置，包括气体流量控制真空机本体(1)，其特征在于：所述气体流量控制真空机本体(1)的底部固定连接有底板(2)，并且底板(2)底部的两侧均固定连接有支柱(3)，所述底板(2)底部的两侧且位于支柱(3)的一侧固定连接有支撑腿(4)，所述支撑腿(4)的底部活动连接有连接腿(5)，并且支撑腿(4)表面的一侧贯穿有固定板(6)，所述固定板(6)的一侧贯穿连接腿(5)并延伸至连接腿(5)的外部，所述固定板(6)的两侧分别贯穿有第一U型板(7)和第二U型板(8)，并且第一U型板(7)和第二U型板(8)相对的一侧均贯穿连接腿(5)并延伸至连接腿(5)的内部，所述第一U型板(7)延伸至连接腿(5)内部的一侧贯穿有卡块(9)，并且卡块(9)延伸至第一U型板(7)内部的一侧固定连接有第一弹簧(10)，所述第二U型板(8)延伸至连接腿(5)内部的一侧开设有与卡块(9)相适配的卡槽(11)。
2.根据权利要求1所述的一种精密气体流量控制反馈真空装置，其特征在于：所述固定板(6)顶部的两侧均贯穿有插销(12)，所述插销(12)的底部贯穿第一U型板(7)和第二U型板(8)并延伸至固定板(6)的底部。
3.根据权利要求1所述的一种精密气体流量控制反馈真空装置，其特征在于：所述支柱(3)的底端活动连接有套壳(13)，并且套壳(13)的底部固定连接有梯形板(14)。
4.根据权利要求3所述的一种精密气体流量控制反馈真空装置，其特征在于：所述套壳(13)的一侧贯穿有连接杆(15)，所述连接杆(15)的一端贯穿支柱(3)并延伸至支柱(3)的外部，所述连接杆(15)延伸至套壳(13)外部一端表面的顶部贯穿有固定块(16)。
5.根据权利要求3所述的一种精密气体流量控制反馈真空装置，其特征在于：所述套壳(13)内壁的底部固定连接有第二弹簧(17)，所述第二弹簧(17)的顶端固定连接有支撑板(18)。
6.根据权利要求1所述的一种精密气体流量控制反馈真空装置，其特征在于：所述底板(2)底部的两侧均固定连接有连接板(19)，并且连接板(19)的底部固定连接有与连接腿(5)相适配的弹性弧形板(20)。
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