[实用新型]旋片式真空泵的防返流结构

说明书

本实用新型公开了一种旋片式真空泵，提供了一种结构简单，可靠性高，在真空泵停机的情况下有效避免真空泵油进入真空系统的旋片式真空泵的防返流结构，解决了现有技术中存在的真空泵停机后，防返流结构往往由于油中的杂质而无法复位，直接导致防返流失效等的技术问题，它包括支架及支架一侧带油泵的泵体，在支架上设有导通于泵体泵腔的进气嘴，在支架内设有防返流通道，防返流通道的一端连通着进气嘴，另一端连通着油泵，与进气嘴对应的防返流通道端口上插接着可封堵住进气嘴的防返流阀板，与油泵对应的防返流通道端口内密闭滑动连接着可弹性滑移的阀头，与阀头内侧端对应的支架内设有导通于大气的放气通道，阀头向内滑移时封堵住放气通道内端口。

技术领域

本实用新型涉及一种旋片式真空泵，尤其涉及一种可在真空泵停机的情况下，有效的避免真空泵油进入泵腔及真空系统的旋片式真空泵的防返流结构。

背景技术

在旋片式真空泵工作时，油蒸汽会逆着气流运行方向进入泵入口，通过入口管路最终进入被抽容器，油蒸汽的返流量随压力的降低而增加，在极限压力附近时，返流量最大，返流油蒸汽主要由泵油中最轻馏分组成，油的返流会污染真空室，影响最终产品的质量，因此必须加以控制。现有的防止旋片式真空泵油返流的措施主要包括：①在进气口均设置防返油阀；②对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀就能很好地防止油的返流；③在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流蒸汽，粒状活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽；④使用特殊泵油，特殊泵油的返流量很小，但由于价格较贵，因此影响到它们的广泛使用。其中防返油阀是旋片式真空泵中最常见的防返流措施，现有防返流结构通常为常闭状态，在真空泵启动时，依靠油泵的压力打开防返流阀，在泵停止时，油泵停止供油，防返流阀依靠弹簧弹力复位，但由于真空泵油在长久运行后往往存在一定的杂质，尤其是在一些腐蚀性场合使用时，防返流阀往往由于油中的杂质卡夹而无法准确复位，直接导致防返流失效。

中国专利公开了一种新型防返油旋片式真空泵（CN202157963U），它包括进气嘴、滤网、挡油板密封圈、进气O形密封圈、旋片弹簧、旋片、转子、泵身、油箱、1号真空泵油、排气阀片、进气管、挡油板，在进气管设有挡油板，挡油板上设有挡油板密封圈，挡油板密封圈用柔性橡胶制作。此装置通过设置挡油板和挡油板密封圈防止停机时泵产生的返油现象，但其同样存在防返流结构往往由于油中的杂质卡夹而无法准确复位，直接导致防返流失效的技术问题。

发明内容

本实用新型主要是提供了一种结构简单，可靠性高，在真空泵停机的情况下，有效的避免真空泵油进入真空系统的旋片式真空泵的防返流结构，解决了现有技术中存在的真空泵停机后，防返流结构往往由于油中的杂质卡夹而无法准确复位，直接导致防返流失效等的技术问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种旋片式真空泵的防返流结构，包括支架及支架一侧带有油泵的泵体，在支架上设有导通于泵体泵腔的进气嘴，在所述支架内设有防返流通道，防返流通道的一端连通着进气嘴，另一端连通着油泵，与进气嘴对应的防返流通道端口上插接着可向外滑移并封堵住进气嘴的防返流阀板，与油泵对应的防返流通道端口内密闭滑动连接着可弹性的向外滑移的阀头，与阀头内侧端对应的支架内设有导通于大气的放气通道，阀头向内滑移时封堵住放气通道内端口。真空泵启动时，油泵油压推动阀头向内移动，阀头关闭放气通道内端口，泵体及与其对接的真空系统间形成密闭的抽真空系统；真空泵停机时，油泵停止供油，阀头在弹力作用下向外移动，放气通道内端口打开，防返流通道直通大气，在大气压的作用下，防返流通道另一端对应的防返流阀板上移并密封住真空泵进气嘴，气压推动防返流阀板向上，采用无弹簧设计，确保真空泵油不会进入真空系统内，结构简单，安全可靠。

作为优选，所述阀头外侧对应的防返流通道端口上密闭罩装有弹性膜片。油泵的油压作用在弹性膜片上，弹性膜片再推动阀头向内移动，从而通过弹性膜片使阀头与真空泵油完全隔离开来，由此解决了杂质进入导致的防返流失效的问题，结构简单，提高了防返流结构的可靠性。