[实用新型]脉冲序列调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统

说明书

本实用新型公开一种脉冲序列调控的飞秒激光‑纳秒电解射流复合加工系统，包括脉冲序列调节器、飞秒激光子系统、可见光透射激光反射镜、激光束与射流同轴监测子系统、反射式物镜、供液子系统、纳秒脉冲供电子子系统、射流发生装置、工作台、示波器。本实用新型本针对不同材料进行加工，且加工出的产品质量高，效率高，满足用户的实际需求。

技术领域

实用新型涉及激光微加工技术领域，具体涉及一种脉冲序列调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统。

背景技术

现阶段，激光加工技术已经广泛应用到精密加工领域，例如硅晶元表面的刻划、微细气膜孔的加工等，主要使用的激光是纳秒激光。尽管其加工效率较高，但是会带来显著的热效应，严重影响被加工区域的后续使用。飞秒激光作为一种新兴的激光技术，具有极高的峰值功率密度和极短的脉冲持续时间，因此加工质量很高。但是由于较低的单脉冲能量，其加工效率较低。同时，精密加工领域应用的材料趋于多元化，激光加工在面对属性不同的材料时加工策略较为单一，不能满足实际应用需求。

鉴于上述缺陷，本实用新型创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本实用新型。

实用新型内容

为解决上述技术缺陷，本实用新型采用的技术方案在于，提供一种脉冲序列调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，包括脉冲序列调节器、飞秒激光子系统、可见光透射激光反射镜、激光束与射流同轴监测子系统、反射式物镜、供液子系统、纳秒脉冲供电子子系统、射流发生装置、工作台、示波器；

所述脉冲序列调节器分别与所述飞秒激光子系统、所述纳秒脉冲供电子子系统和所述示波器连接；所述飞秒激光子系统产生的激光经过所述可见光透射激光反射镜反射后到达所述反射式物镜表面；所述可见光透射激光反射镜的另一侧设置有所述光束与射流同轴监测子系统，所述反射式物镜将激光反射至所述所述射流发生装置上，所述射流发生装置分别与所述供液子系统、纳秒脉冲供电子系统以及所述工作台相连接；所述工作台还与所述供液子系统以及所述纳秒脉冲供电子系统相连接。

较佳的，所述飞秒激光子系统包括飞秒激光器、激光扩束镜、光路调整镜组；所述飞秒激光器的一端连接所述脉冲序列调节器，所述激光扩束镜与所述飞秒激光器的发射端的激光同轴线布置；所述光路调整镜组设置在所述激光扩束镜的另一端。

较佳的，所述激光束与射流同轴监测子系统包括白光光源、衰减镜、滤光镜、CCD和光学镜头；所述衰减镜、滤光镜、CCD和光学镜头与所述光路调整镜组的折射出的激光光路同轴线布置；所述白光光源为旁轴线布置。

较佳的，所述供液子系统包括三相变频电机、高压柱塞泵、蒸馏水箱、第一单向阀、电解液箱、第二单向阀、三通阀、单向过滤器、蓄能器、安全阀、压力表、双向过滤器、废液回收箱；

所述相变频电机与高压柱塞泵之间通过联轴器连接，所述高压柱塞泵的排出端与所述蓄能器、安全阀、压力表、双向过滤器依次连接；所述高压柱塞泵的吸入端与所述单向过滤器连接，所述单向过滤器的另一端连接所述三通阀，所述三通阀的其余两端分别连接所述第一单向阀与所述第二单向阀；所述第一单向阀连接所述蒸馏水箱，所述第二单向阀连接所述电解液箱；所述安全阀还连接有所述废液回收箱。

较佳的，所述三相变频电机与所述高压柱塞泵一体成型。

较佳的，所述纳秒脉冲供电系统包括纳秒脉冲发生器以及高压直流电源；所述高压直流电源的正极与工作台连接，负极与所述射流发生装置连接，所述纳秒脉冲发生器与所述高压直流电源的信号输入端连接。

较佳的，所述射流发生装置包括快速接头、激光束与射流同轴调整装置、射流腔、射流束；所述激光束与射流同轴调整装置与射流腔同轴刚性连接；所述快速接头与射流腔刚性连接；所述快速接头还与所述双向过滤器连接。

较佳的，所述快速接头与所述射流腔材质为不锈钢材料制成。

较佳的，所述激光束与射流同轴调整装置中间设有通孔。