[实用新型]一种旋转靶材有效
申请号: | 201820309832.5 | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN208121190U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 常代展;王雷 | 申请(专利权)人: | 南通安泰新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226341 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背衬管 套管 靶材 旋转靶材 磁控溅射靶材 本实用新型 技术要点 螺纹连接 运输过程 接合 焊料层 弯折的 抵接 磨损 弯折 伸出 延伸 | ||
1.一种旋转靶材,包括背衬管(1)和套设于背衬管(1)外的靶材体(3),所述背衬管(1)和靶材体(3)间通过焊料层(2)相互接合,其特征在于:所述背衬管(1)两端分别延伸于靶材体(3)外侧,所述背衬管(1)伸出靶材体(3)的两端分别套设有套管(4),所述套管(4)与背衬管(1)螺纹连接,所述套管(4)与靶材体(3)抵接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述套管(4)周壁为两个同心管连接而成的双层结构,且所述套管(4)沿背衬管(1)轴线方向的截面上其周壁成“U”形,所述套管(4)与背衬管(1)外壁螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述靶材体(3)内壁设有若干凸起(31),所述凸起(31)距靶材体(3)轴线的最短距离大于背衬管(1)的外径。
4.根据权利要求3所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述凸起(31)表面覆有粗糙层。
5.根据权利要求3所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述凸起(31)为球缺形,所述凸起(31)的球缺形大于半球。
6.根据权利要求2所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述背衬管(1)朝向靶材体(3)侧开有若干凹槽(11)。
7.根据权利要求6所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述凹槽(11)为球缺形,所述凹槽(11)的球缺形大于半球。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种旋转靶材,其特征在于:所述焊料层(2)为低熔点金属和热固性塑料的混合焊料层(2)。
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