[实用新型]一种降低硅片表面损伤的太阳能硅片用夹具有效
| 申请号： | 201820311167.3 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN208000906U | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 朱运权 | 申请（专利权）人： | 扬州市万达光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 225600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹具 太阳能硅片 固定块 夹具板 焊接 吸盘 硅片表面损伤 本实用新型 夹持固定 套管 凹槽内部 传动连接 电动马达 顶部中心 对称设置 硅片表面 转轴转动 承托板 传统的 固定板 连接柱 限位柱 弹簧 硅片 表壁 内嵌 内套 气泵 上套 位柱 转轴 皮带 取出 | ||
1.一种降低硅片表面损伤的太阳能硅片用夹具，包括夹具板(1)，其特征在于，所述夹具板(1)底部中心处开设有凹槽(2)，所述凹槽(2)内部顶板上通过连接柱(3)固定有吸盘(4)，所述夹具板(1)一侧表壁上焊接有第一固定块(5)，所述第一固定块(5)底部焊接有套管(6)，且套管(6)内套接有限位柱(7)，所述限位柱(7)上套接有弹簧(8)，所述夹具板(1)顶部中心处焊接有固定板(9)，所述夹具板(1)底部位于凹槽(2)的两侧对称设置有第二固定块(13)，且第二固定块(13)通过转轴(14)转动连接有承托板(15)，所述转轴(14)通过皮带(12)与夹具板(1)内嵌的电动马达(11)传动连接，所述夹具板(1)顶部位于固定板(9)的一侧固定有气泵(10)，所述固定板(9)上表面中心位置处固定有螺纹杆(17)，所述固定板(9)上表面位于螺纹杆(17)的外侧四周焊接有限位杆(16)。
2.根据权利要求1所述的一种降低硅片表面损伤的太阳能硅片用夹具，其特征在于，所述吸盘(4)共设置有多个，且多个吸盘(4)呈矩形阵列分布。
3.根据权利要求1所述的一种降低硅片表面损伤的太阳能硅片用夹具，其特征在于，所述限位柱(7)共设置有四个所述，且四个限位柱(7)对称设置在夹具板(1)的四个拐角处。
4.根据权利要求1所述的一种降低硅片表面损伤的太阳能硅片用夹具，其特征在于，所述承托板(15)共设置有两个，且两个承托板(15)关于夹具板(1)的竖直中线相互对称。
5.根据权利要求1所述的一种降低硅片表面损伤的太阳能硅片用夹具，其特征在于，所述气泵(10)通过导管与吸盘(4)相互导通连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
