[实用新型]一种易液化及低蒸气压分配伴热装置

说明书

本实用新型公开了一种易液化及低蒸气压分配伴热装置，包括壳体和各路伴热控制单元，所述壳体内腔固定安装有分配装置主管路，所述分配装置主管路从后至前依次固定安装有辅助管路、主管路进气隔离阀、主管路机械仪表、主管路数字压力传感器、分配装置支管路以及主管路末端隔离阀，所述辅助管路上安装有辅助管路隔离阀，所述分配装置支管路从前至后依次固定安装有支管路第一隔离阀、保温装置、吹扫管路、支管路减压阀、支管路机械仪表、支管路过滤器、排空管路、温度感测反馈装置以及支管路第二隔离阀，该易液化及低蒸气压分配伴热装置，混有加热控制单元，不仅能够使机械仪表和数字仪表之间相互校核，还可实时监控气体品质。

技术领域

本实用新型涉及气体分配伴热装置领域，具体为一种易液化及低蒸气压分配伴热装置。

背景技术

近些年GaN基LED器件PSS衬底技术的广泛被采用，较大流量低蒸气压气体输送、分配装置日渐重要。现有的阀门分配装置增加的盘面及管线伴热单独配置控制箱，此设置存在以下两方面的问题：一方面刻蚀机台装机容量提升，附属设备安装空间日趋紧张；另一方面分配支路数量增加，加热控制单元分散安装，不利于操作及集中管理。例如在半导体、微电子等行业内工艺制程中使用到的高纯有毒、腐蚀性、低蒸气压及易液化的特气分配装置，因此，我们提出一种易液化及低蒸气压分配伴热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种易液化及低蒸气压分配伴热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种易液化及低蒸气压分配伴热装置，包括壳体和各路伴热控制单元，所述壳体内腔固定安装有分配装置主管路，所述分配装置主管路从后至前依次固定安装有辅助管路、主管路进气隔离阀、主管路机械仪表、主管路数字压力传感器、分配装置支管路、主管路末端隔离阀以及取样，所述辅助管路上安装有辅助管路隔离阀，所述分配装置支管路从前至后依次固定安装有支管路第一隔离阀、保温装置、吹扫管路、支管路减压阀、支管路机械仪表、支管路过滤器、排空管路、温度感测反馈装置以及支管路第二隔离阀，所述吹扫管路从左至右依次固定安装有置换吹扫隔离阀、吹扫管路单向止回阀以及吹扫管路进口隔离阀，所述排空管路从左向右依次固定安装有排空管路抽真空隔离阀、文丘里真空发生装置、排空管路单向止回阀以及排空管路进口隔离阀，所述壳体后端壁开有排气出口，所述排气出口内腔固定安装有过滤网，所述壳体后端壁分别固定安装有防爆拉丝玻璃观测窗、伴热控制箱和压力检测装置，所述壳体前端壁固定安装有探测器。

优选的，所述壳体底端安装有落地固定支架，所述落地固定支架通过螺栓固定安装在地面。

优选的，所述各路伴热控制单元由伴热线及保温装置,温度感测反馈装置及控制器组成。

优选的，所述分配装置主管路管径比分配装置支管路管径高一等级。

优选的，所述分配装置支管路设有有若干条。

优选的，所述分配装置支管路出口安装有压力检测装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该易液化及低蒸气压分配伴热装置，通过设置分配装置主管路、主管路进气隔离阀、主管路机械仪表、主管路数字压力传感器、主管路末端隔离阀、分配装置支管路、支管路第一隔离阀、支管路减压阀、支管路机械仪表、支管路过滤器和支管路第二隔离阀，能够使机械仪表和数字仪表之间相互校核，及时有效判断仪表是否有漂移现象；通过设置保温装置、温度感测反馈装置和控制器，将加热控制单元与其合为一体，节约安装竖向空间，有效规避空间不足问题，提高了空间利用率；通过设置主管路末端隔离阀和取样，可以取样检测，有效实时监控气体品质，有助于工艺分析及良率提升。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。