[实用新型]一种传动追赶分离系统有效
申请号: | 201820313304.7 | 申请日: | 2018-03-07 |
公开(公告)号: | CN208121192U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 杨宏斌;冷庆吉;齐丽婧;郭仙;柳丽丽;李忠祥 | 申请(专利权)人: | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 倪钜芳 |
地址: | 065599 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二级传动 分离系统 一级传动 传动 隔板 本实用新型 工艺腔室 缓冲室 室内 缓冲 真空磁控溅射 镀膜玻璃 控制电机 快速分离 光栅 工艺腔 中间段 底端 腔体 尾端 悬空 玻璃 检测 加工 应用 | ||
本实用新型一种传动追赶分离系统,包括工艺腔室及缓冲室,工艺腔室与缓冲室之间设有隔板,隔板设在二级传动辊中间段上方悬空,工艺腔室内有二级传动辊的一侧,二级传动辊的另一侧设在缓冲室内,缓冲室内在二级传动辊的尾端设有一级传动辊,一级传动辊及二级传动辊的底端均设有控制电机,一级传动辊及二级传动辊的辊间设有检测光栅,实用新型中解决的任务是提供一种传动追赶分离系统,使镀膜玻璃能够快速进入的腔体,减少玻璃之间的间距,达到在出口处快速分离的目的,本实用新型主要应用于真空磁控溅射加工行业。
技术领域
本实用新型涉及机械自动化设备技术领域,更加具体的,是一种传动追赶分离系统。
背景技术
镀膜玻璃进入磁控溅射真空腔体时需要经过入口室,过度室,缓冲室分级进入工艺腔体内,以确保腔体内真空系统稳定。
当前的镀膜玻璃在生产过程中必须保持超过500mm的距离,以防止玻璃在出口处来不及分离,发生跳靶的情况。
大面积平板玻璃在镀膜过程中需要在阴极下匀速传动以保证成膜的均匀性,镀膜玻璃在真空腔体中连续生产时玻璃之间的距离越小越好,玻璃间距小在减少阴极对底板污染的同时也是降低成本的必要手段。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种传动追赶分离系统,可使得平板玻璃在镀膜过程中实现快速追赶并及时进入镀膜腔,在减少玻璃间距,同时可以实现快速分离的效果。
本实用新型的技术方案如下:
一种传动追赶分离系统,包括工艺腔室及缓冲室,工艺腔室与缓冲室之间设有隔板,隔板设在二级传动辊中间段上方悬空,工艺腔室内有二级传动辊的一侧,二级传动辊的另一侧设在缓冲室内,缓冲室内在二级传动辊的尾端设有一级传动辊,一级传动辊及二级传动辊的底端均设有控制电机,一级传动辊及二级传动辊的辊间设有检测光栅。
一级传动辊及二级传动辊上设有同步带。
一级传动辊及二级传动辊有若干根传动杆,传动杆为空心圆柱形结构。
工艺腔室内设有PLC,检测光栅与PLC通过有线或无线的方式连接,PLC通过有线或无线的方式与控制电机连接。
同步带表面设有阻力带,所述阻力带为长条状。
控制电机为变频电机。
控制电机与传动杆通过动力轴连接。
本实用新型公开的系统的有益效果是:
实用新型中解决的任务是提供一种传动追赶分离系统,使镀膜玻璃能够快速进入的腔体,减少玻璃之间的间距,达到在出口处快速分离的目的,本实用新型主要应用于真空磁控溅射加工行业。
附图说明
图1为本实用新型一种传动追赶分离系统一级追赶结构示意图;
图2为本实用新型一种传动追赶分离系统二级进口结构示意图;
图3为本实用新型一种传动追赶分离系统追赶完成结构示意图;
其中:1、工艺腔室;2、二级传动辊;3、检测光栅;4、缓冲室;5、一级传动辊;6、控制电机。
具体实施方式
下面对本实用新型的技术方案进行具体阐述,需要指出的是,本实用新型的技术方案不限于实施例所述的实施方式,本领域的技术人员参考和借鉴本实用新型技术方案的内容,在本实用新型的基础上进行的改进和设计,应属于本实用新型的保护范围。
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