[实用新型]一体式阴极盖板控制面板

说明书

本实用新型涉及阴极设备技术领域，具体是一体式阴极盖板控制面板包括：面板背板、监控器、冷却水快接头、工艺气体快接头、通讯接口、控制快插接口及高压快插接口，本实用新型实施例提供的一体式阴极盖板控制面板，将磁控溅射阴极盖板的各外部连接端有机集中到一块面板上，方便生产过程中的检查，并且最大限度的使复杂的阴极盖板简洁化；所有接口全部采用快插式接口，简化了在开腔检查过程中阴极盖板的装卸步骤，同时将通讯接口与控制接口分开处理最大限度保证系统通讯的稳定性，本实用新型能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化控制面板，结构简单，设计合理。

技术领域

本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜腔体中的一体式阴极盖板控制面板，属于阴极设备技术领域。

背景技术

真空磁控溅射阴极由靶材、控制系统、通讯系统、冷却水、气路、高压电路等部件组成，这些部件会通过大量的外接线连接，其中阴极盖板中集成了许多部件的连接端，导致盖板外部链接无序，不仅使得难以整理，不利于连接端的散热，特别是不利于不同的供应商组成难以达成一致。

目前的阴极盖板不同功能的连接端之间的没有明显的分区，各外部连接端分散杂乱，导致连接端不稳定，增加了维修的复杂度及维修几率，降低真空磁控溅射阴极的工作寿命。

因此，亟需一种能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化一体式阴极盖板控制面板。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化一体式阴极盖板控制面板，安装简易明了，面板控制安全。

本实用新型的技术方案如下：

一体式阴极盖板控制面板包括：面板背板、监控器、冷却水快接头、工艺气体快接头、通讯接口、控制快插接口及高压快插接口，冷却水快接头设置在面板背板最左侧，工艺气体快接头设置在面板背板的最右侧，监控器设置在面板背板上端的中间位置，监控器底端从左至右依次为通讯接口、控制快插接及高压快插接口，监控器、通讯接口、控制快插接及高压快插接口之间有间隙。

冷却水快接头为铜质航空接头。

工艺气体快接头包括氩气快接头，氧气快接头，氮气接头快接头及备用快接头。

冷却水快接头垂直设有至少2个冷却水快接头。

面板背板顶端设有等腰梯形结构的突起，突起中间设有圆形通孔。

冷却水快接头的接头端设有密封圈，所述密封圈为膨胀橡胶圈。

高压快插接口的接头端设有绝缘圈层，所述绝缘圈层包覆在高压快插接口的外表面。

通讯接口设有倒八字型的弹簧卡件，所述弹簧卡夹为弹性结构。

面板背板表面设有镀膜。

面板背板边缘设有固定端，所述固定端与面板背板所在平面有角度差，所述角度差的的范围为顺时针30°－45°范围内，所述固定端设有通孔，所述通孔与紧固螺丝配套。

由以上技术方案可见，本实用新型实施例提供的一体式阴极盖板控制面板，将磁控溅射阴极盖板的各外部连接端有机集中到一块面板上，方便生产过程中的检查，并且最大限度的使复杂的阴极盖板简洁化；所有接口全部采用快插式接口，简化了在开腔检查过程中阴极盖板的装卸步骤，同时将通讯接口与控制接口分开处理最大限度保证系统通讯的稳定性，本实用新型能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化控制面板，结构简单，设计合理。

附图说明

图1为本实用新型一体式阴极盖板控制面板的结构示意图；

其中：1、面板背板；2、冷却水快接头；3、监控器；4、工艺气体快接头；5、高压快插接口；6、控制快插接口；7、通讯接口。