[实用新型]一种用点纯化器独立安装装置

说明书

本实用新型公开了一种用点纯化器独立安装装置，包括主管路进气隔离阀、普通氮气进口隔离阀和高纯氮气进口隔离阀，所述主管路进气隔离阀右端通过管道无缝连接有机械气压表，所述机械气压表右端通过管道无缝连接有数字压力传感器，所述数字压力传感器右端通过管道无缝连接有第一隔离阀，所述第一隔离阀右端通过管道无缝连接有纯化前隔离阀，所述纯化前隔离阀右端通过管道无缝连接有纯化装置，所述纯化装置右端通过管道无缝连接有第二隔离阀，所述第二隔离阀右端通过管道无缝连接有气压表，所述气压表右端通过管道无缝连接有第三隔离阀，该装置结构紧凑、占地面积小、使用方便、安全性高，适合进行普遍推广。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体为一种用点纯化器独立安装装置。

背景技术

传统用点纯化器会内置在FAB或灰区特气阀门分配箱内，随着LED产能扩张，多腔外延机台大批量采购、安装，多腔MO所需特气用量、安装管线急剧增加，原供气设备存在安装空间不足以及阀门分配箱体积庞大且后期与其它设备配合功能欠缺的等问题，为此，我们提出了一种用点纯化器独立安装装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用点纯化器独立安装装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用点纯化器独立安装装置，包括主管路进气隔离阀、普通氮气进口隔离阀和高纯氮气进口隔离阀，所述主管路进气阀左端通过管道无缝连接有气体自气源供气装置，所述主管路进气隔离阀右端通过管道无缝连接有机械气压表，所述机械气压表右端通过管道无缝连接有数字压力传感器，所述数字压力传感器右端通过管道无缝连接有第一隔离阀，所述第一隔离阀右端通过管道无缝连接有纯化前隔离阀，所述纯化前隔离阀右端通过管道无缝连接有纯化装置，所述纯化装置右端通过管道无缝连接有第二隔离阀，所述第二隔离阀右端通过管道无缝连接有气压表，所述气压表右端通过管道无缝连接有第三隔离阀，所述气压表和第三隔离阀之间通过管道无缝连接有抽真空隔离阀，所述抽真空隔离阀上端通过管道无缝连接有文丘里真空发生装置，所述文丘里真空发生装置左端通过管道无缝连接有第一单向止回阀，所述第一单向止回阀左端通过管道无缝连接有普通氮气进口隔离阀，所述高纯氮气进口隔离阀右端通过管道无缝连接有第二单向止回阀，所述第二单向止回阀右端通过管道无缝连接有吹扫气压表，所述吹扫气压表右端通过管道无缝连接有置换吹扫隔离阀，所述置换吹扫隔离阀右端通过管道无缝连接有第二抽真空隔离阀。

优选的，所述置换吹扫隔离阀右端还通过管道无缝连接在第一隔离阀与纯化前隔离阀之间。

优选的，所述吹扫气压表为数字式气压表或机械式气压表。

优选的，所述气压表为数字式气压表或机械式气压表。

优选的，所述纯化装置为POU纯化器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用点纯化器独立安装装置，通过设置第二抽真空隔离阀的结构，达到了能够提供抽真空和供气两种工作模式的效果，提高了装置的稳定性，降低了事故发生的概率；通过设置机械气压表和数字压力传感器的结构，达到了能够相互校正、高效判断仪表是否发生漂移现象的效果，提高了装置控制的准确性和精确度，提高了装置的安全性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1主管路进气隔离阀、11机械气压表、12数字压力传感器、13第一隔离阀、14纯化前隔离阀、15纯化装置、16第二隔离阀、17气压表、18第三隔离阀、2普通氮气进口隔离阀、21第一单向止回阀、22文丘里真空发生装置、23抽真空隔离阀、3高纯氮气进口隔离阀、31第二单向止回阀、32吹扫气压表、33置换吹扫隔离阀、34第二抽真空隔离阀、4气体自气源供气装置。

具体实施方式