[实用新型]一种电子级水洗式尾气处理器

说明书

本实用新型公开了一种电子级水洗式尾气处理器，包括底座，所述底座的上端前侧设有防护门，所述防护门的上端设有控制系统装置，所述控制系统装置的上端左侧连接有市水进水管，所述底座的上端右侧固定连接有箱体，所述箱体的右端下部固定连接有检修口，所述箱体的上端右侧固定插接有尾气进气管，所述箱体的上端前侧通过主管道连接有尾气出气管，所述箱体的上端右侧中部固定连接有接线盒，所述接线盒的左端后侧固定连接有CDA调压阀。该电子级水洗式尾气处理器，通过进口设置清理、吹扫装置，极大程度上降低进气口结晶、堵塞；通过内置减压、过滤、监控等单元，较精密实现部件管理及工艺监控。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体为一种电子级水洗式尾气处理器。

背景技术

在LED、半导体、集成电路工艺制程中往往会用到有毒腐蚀性气体，在对特气设备进行换瓶时会有少量气体排放，按照环保法规定，对生命财安全有害的气体需特殊处理才能直扫排放。之前粗放式尾气处理方式有以下不足：1)电子废气进入废气处理腔体时由于温度、湿度等环境变化，电子气极易在进气口结晶引起管路堵塞；2)手动操作或控制系统供电操作不方便；3)动力、工艺气源进口未设置压力调节、过滤、监控单元，安装时需单独配置，减压、过滤、监控单元供应、安装等较难实现；针对部分气体溶于水的特性及实现更精密控制，因此我们提出了一种电子级水洗式尾气处理器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子级水洗式尾气处理器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子级水洗式尾气处理器，包括底座，所述底座的上端前侧设有防护门，所述防护门的上端设有控制系统装置，所述控制系统装置的上端左侧连接有市水进水管，所述底座的上端右侧固定连接有箱体，所述箱体的右端下部固定连接有检修口，所述箱体的上端右侧固定插接有尾气进气管，所述箱体的上端前侧通过主管道连接有尾气出气管，所述箱体的上端右侧中部固定连接有接线盒，所述接线盒的左端后侧固定连接有CDA调压阀，所述CDA调压阀的后端通过连接板连接有N₂流量计。

优选的，所述控制系统装置的前端中部设有显示屏，所述控制系统装置的前端上部左侧设有电源开关，所述控制系统装置的前端右侧设有控制按钮。

优选的，所述尾气进气管设有四个，所述尾气进气管呈环形阵列排列在主管道的外侧上部。

优选的，所述底座的右端前后侧固定插接有出水口。

优选的，所述底座的下端四角固定连接有支撑腿。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该电子级水洗式尾气处理器，通过设置废气进气口吹扫、清理装置及腔体微负压设置，极大程度上降低因进气口结晶产生的大量停产、维修工作，提升工作效率；设备配套动力及工艺气源减压、过滤、监控单元较精密实现部件及工艺管理、监控，提高部件可靠性及寿命的同时提升了产品的附加值。

附图说明

图1为本实用新型结构主视图；

图2为本实用新型后视图。

图中：1底座、2防护门、3控制系统装置、4市水进水管、5尾气出气管、6尾气进气管、7检修口、8箱体、9N₂流量计、10CDA调压阀、11接线盒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。