[实用新型]一种刻蚀框具

说明书

本实用新型公开了一种刻蚀框具，包括横板，所述横板的底部固定连接有支撑板，所述横板的顶部开设有放置槽，所述横板顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板，旋转板顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块，横板左侧的底部开设有与放置槽连通的开口，开口内腔的两侧均固定连接有轴承座。本实用新型通过旋转板、推块、轴承座、螺纹管、齿轮、齿板、连接块、推动板、螺纹杆、壳体、弹簧和压板的配合使用，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题，该刻蚀框具，具备固定效果好的优点，提高了半导体的生产质量，大大减小了企业的经济损失，提高了刻蚀框具的实用性。

技术领域

本实用新型涉及刻蚀技术领域，具体为一种刻蚀框具。

背景技术

刻蚀，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分，随着微制造工艺的发展，广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。

在对半导体进行刻蚀时，需要使用到刻蚀框具，但是现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移的现象，降低了半导体的生产质量，给企业带来巨大的经济损失，降低了刻蚀框具的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种刻蚀框具，具备固定效果好的优点，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种刻蚀框具，包括横板，所述横板的底部固定连接有支撑板，所述横板的顶部开设有放置槽，所述横板顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板，所述旋转板顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块，所述横板左侧的底部开设有与放置槽连通的开口，所述开口内腔的两侧均固定连接有轴承座，所述轴承座的内壁固定连接有螺纹管，所述螺纹管表面的中心固定连接有齿轮，所述齿轮的顶部啮合有齿板，所述齿板的顶部固定连接有连接块，所述连接块的顶部贯穿至横板的顶部并固定连接有推动板，所述推动板的底部与横板滑动连接，所述螺纹管的内腔螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的右端延伸至放置槽的内腔并固定连接有壳体，所述壳体的底部与支撑板滑动连接，所述壳体内腔的底部固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端延伸至壳体的顶部并固定连接有压板，所述压板的底部与壳体接触。

优选的，所述支撑板的顶部且对应壳体的位置开设有滑槽，所述壳体的底部固定连接有与滑槽配合使用的滑块。

优选的，所述壳体的右侧固定连接有保护垫，所述保护垫的厚度为二毫米。

优选的，所述横板顶部的左侧开设有与连接块配合使用的通孔，所述齿板的长度大于通孔的长度，所述齿板的宽度大于通孔的宽度。

优选的，所述推动板的顶部开设有凹槽，所述推动板的顶部且对应凹槽的位置设置有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过旋转板、推块、轴承座、螺纹管、齿轮、齿板、连接块、推动板、螺纹杆、壳体、弹簧和压板的配合使用，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题，该刻蚀框具，具备固定效果好的优点，提高了半导体的生产质量，大大减小了企业的经济损失，提高了刻蚀框具的实用性。

2、本实用新型通过滑槽和滑块的配合使用，对壳体起到了限位的作用，避免了壳体在左右移动时出现偏移的现象，增大了壳体在左右移动时的稳定性，使壳体的稳定效果更好，通过保护垫的设置，避免了壳体与半导体之间出现硬性碰撞的现象，进而对半导体起到了保护的作用，通过凹槽的设置，增大了使用者的手与推动板之间的摩擦力，使用者能够很容易的对推动板进行控制，方便了使用者的使用。