[实用新型]用于单晶一体机加工过程的全自动硅水循环过滤装置

权利要求书

1.一种用于单晶一体机加工过程的全自动硅水循环过滤装置，包括过滤器；其特征在于，该装置还包括两个水箱与三个抽水泵；其中，第一水箱通过管路与单晶一体机的硅水切削液排放口相接，其底部经第一抽水泵连接至过滤器的入口端；过滤器的出口端与第二抽水泵的入口端相接，第二抽水泵的出口端接至第二水箱；第三抽水泵的入口端接至第二水箱底部，其出口端通过管路与单晶一体机的硅水切削液导入口相接；

在第三抽水泵出口端的管线上设置流量计，流量计通过信号线接至电控箱；电控箱通过电缆分别连接至第一抽水泵和第二抽水泵，并根据第三抽水泵出口端的流量同步控制另两个抽水泵的运行功率，使循环过滤过程中单晶一体机的导入口和排放口的硅水切削液流量保持一致。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一水箱设置在第一移动小车上；所述第二水箱、三个抽水泵和电控箱均设置在第二移动小车上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一水箱中设有一个浮球开关，并通过信号线接至电控箱，用于在第一水箱中液位低于设定值时关停第一抽水泵和第二抽水泵。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述过滤器中滤芯的孔径为0.002mm。