[实用新型]一种用于研磨抛光机的修整环有效
| 申请号： | 201820338310.8 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208084105U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 修整环 垂直凹槽 凹口 工装 挡片 研磨抛光机 工装设计 棘手问题 内壁设计 位置相对 相对位移 研磨 内壁 垂直 | ||
1.一种用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装具有一个凹口，所述垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，所述挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，所述挡片的底部被置于所述凹口内。
2.如权利要求1所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述挡片的垂直部与所述修整环的垂直凹槽壁固定连接。
3.如权利要求2所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述挡片的垂直部与所述修整环的垂直凹槽壁采用螺钉固定连接。
4.如权利要求3所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述挡片的垂直部具有用于调节位置的腰形孔。
5.如权利要求1所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述工装是工件载盘，具有用于放置工件的工件位孔。
6.如权利要求1所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述修整环的环壁上开有用于流动研磨液的缝隙。
7.如权利要求1所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述研磨抛光机包括，
机架；
置于机架上的桌面；
安装在桌面上的气缸支架；
垂直安装在气缸支架上的至少3个气缸；
每个气缸运动部安装的压力盘；
压力盘下方的桌面上，安装有可被电机驱动旋转的研磨盘；
在研磨盘的边缘处至少安装有3个导轮臂；
导轮臂的两端各有一个导轮；
所述修整环被置于研磨盘上，被导轮臂的导轮夹持；
所述工装被置于修整环内；
安装在机架一侧的控制显示器。
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