[实用新型]一种用于研磨抛光设备的修整环有效

专利信息
申请号: 201820338612.5 申请日: 2018-03-13
公开(公告)号: CN208084106U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34;B24B57/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 修整环 环体 研磨抛光设备 研磨盘 研磨体 研磨液 均匀对称分布 研磨抛光机 圆柱形陶瓷 金属材料 圆滑 紧固连接 陶瓷材料 研磨 平整度 流动
【权利要求书】:

1.一种用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,该修整环包括环体和研磨体,

研磨体由多个圆柱体组成,所述的圆柱体的端面与环体的端面紧固连接。

2.如权利要求1所述的用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,所述的圆柱体均匀对称分布在所述环体的端面上。

3.如权利要求2所述的用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,所述圆柱体采用陶瓷材料制成。

4.如权利要求3所述的用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,所述的环体是金属材料制成。

5.如权利要求4所述的用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,所述的圆柱体的端面与环体的端面用黏结的方式紧固连接。

6.如权利要求1所述的用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,所述研磨抛光设备包括,

机架;

置于机架上的桌面;

安装在桌面上的气缸支架;

垂直安装在气缸支架上的至少3个气缸;

每个气缸运动部安装的压力盘;

压力盘下方的桌面上,安装有可被电机驱动旋转的研磨盘;

在研磨盘的边缘处至少安装有3个导轮臂;

导轮臂的两端各有一个导轮;

所述修整环被置于研磨盘上,被导轮臂的导轮夹持;

安装在机架一侧的控制显示器。

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