[实用新型]XRD织构测试仪载物台装置

说明书

本实用新型提出一种XRD织构测试仪载物台装置，其载物台本体上设置有多个可相对载物台平面滑动的夹持装置；所述夹持装置包括可相对于开设在载物台平面上的滑槽滑动的夹块，以及设置于夹块与测试品接触一侧，且开口朝上的真空吸孔；所述真空吸孔通过真空管路连接设置在载物台本体之外的真空泵。本实用新型技术方案及其优选方案结构精巧、成本低廉，不仅大大拓展了普通XRD织构测试仪载物台装置的适用范围和易用性，也降低了操作的难度和时间成本，适用于研发生产的需求，具备较高的市场价值和推广前景。

技术领域

本实用新型属于X射线衍射测试领域，尤其涉及一种带有真空吸孔和夹块的XRD织构测试仪载物台装置。

背景技术

现有的X射线衍射（XRD）织构测试仪载物台测试样品时，仅用常规的夹块夹住样品，当测试易碎样品如衬底片时，夹得太紧容易导致样品破裂，夹得太松容易导致样品掉落，而且在测试非圆形样品（例如二分之一圆衬底片、四分之一圆衬底片等）时，存在样品夹不紧、容易滑落的现象。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足和空白，本实用新型采用以下技术方案：

一种XRD织构测试仪载物台装置，其特征在于：载物台本体上设置有多个可相对载物台平面滑动的夹持装置；所述夹持装置包括可相对于开设在载物台平面上的滑槽滑动的夹块，以及设置于夹块与测试品接触一侧，且开口朝上的真空吸孔；所述真空吸孔通过真空管路连接设置在载物台本体之外的真空泵。

优选地，所述真空管路连接真空吸孔，且位于载物台内部的一段为真空软管。

优选地，所述真空管路至少包括一段真空波纹管。

优选地，所述多个夹持装置的真空吸孔对应的真空管路通过真空汇总管道连接至真空泵。

优选地，所述真空管路设置有吸力调节装置。

优选地，所述夹持装置中，真空软管布设在夹块的夹持凸起部下侧，真空吸孔与夹块同步滑动。

优选地，所述夹块下部通过弹簧连接滑片；所述滑片与载物台水平滑动连接。

优选地，所述真空管路进入载物台内部通道的侧壁上设置有滚轮。

优选地，所述夹持装置共有三个，呈正三角对称分布在载物台上，且其水平滑动方向朝向正三角的中心。

优选地，所述载物台本体固定在测试仪的基底上部，且与基底平行。

本实用新型技术方案及其优选方案结构精巧、成本低廉，不仅大大拓展了普通XRD织构测试仪载物台装置的适用范围和易用性，也降低了操作的难度和时间成本，适用于研发生产的需求，具备较高的市场价值和推广前景。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本装置扩展了现有的XRD织构测试仪的功能，使之能更加牢固的固定住样品，提高对样品XRD织构测量的准确性和重复性，大大降低了工作难度，提高了测量效率，降低了对测试样品造成损害的几率；

2.本装置扩展了现有的XRD织构测试仪的所能测试的样品范围，使之不再只能测试表面为规则几何形状的片状样品，也能够测试表面为不规则几何形状的片状样品。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步详细的说明：

图1为本实用新型实施例整体结构主视示意图；

图2为本实用新型实施例整体结构俯视示意图；

图3为本实用新型实施例整体结构主剖视示意图；

图4为本实用新型实施例整体结构侧剖视示意图；