[实用新型]一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统

权利要求书

1.一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，包括储能器（1）、压力调节组件（2）和点样控制组件（3），所述压力调节组件（2）串联在点样控制组件（3）与储能器（1）之间，其特征在于：所述的压力调节组件（2）包括减压阀（21）、将真空发生器（22）和第一气压电磁阀（23）串联的第一支路（24）、与第一支路（24）并联的第二支路（25）以及串联在第二支路（25）上的第二气压电磁阀（26），所述减压阀（21）的入口与储能器（1）连接，其出口与第一支路（24）和第二支路（25）的一端连接，所述第一支路（24）和第二支路（25）的另一端与点样控制组件（3）的第三支路（31）连接，所述第一支路（24）和第二支路（25）之间并联有多个气压电磁阀，所述点样控制组件（3）还包括与第三支路（31）连接的多个相互并联的点样针支路（32）。

2.根据权利要求1所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的点样针支路（32）包括点样针（321）、微动电磁阀（322）和第四气压电磁阀（323），所述第四气压电磁阀（323）设在点样针支路（32）的一端，且位于第三支路（31）与点样针支路（32）之间，点样针支路（32）的另一端设有点样针（321），所述点样针（321）与第四气压电磁阀（323）之间设有微动电磁阀（322）。

3.根据权利要求2所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的微动电磁阀（322）和第四气压电磁阀（323）之间安装有气罐（324），所述气罐（324）的储器压力小于储能器（1）的储气压力。

4.根据权利要求1或3所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的减压阀（21）的两侧分别设有空气过滤器（4）和压力表（5），所述空气过滤器（4）设在减压阀（21）近储能器（1）的一侧。

5.根据权利要求4所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的压力调节组件（2）还包括第三气压电磁阀（27），所述第三气压电磁阀（27）串联在压力调节组件（2）和点样控制组件（3）之间，且与点样控制组件（3）并联。

6.根据权利要求5所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的第一支路（24）和第二支路（25）之间并联有多个气压电磁阀，数量为两个，且其中一个气压电磁阀的出口处串联有调速阀，所述气压电磁阀均为两位两通气压电磁阀。

7.根据权利要求6所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的第一气压电磁阀（23）、第二气压电磁阀（26）、第三气压电磁阀（27）和第四气压电磁阀（323）均为两位两通气压电磁阀。

8.根据权利要求2或3所述的一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，其特征在于：所述的微动电磁阀（322）为两位两通电磁阀。