[实用新型]一种物理化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201820352436.0 | 申请日： | 2018-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN208087718U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 汪建江 | 申请（专利权）人： | 营口理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 115004 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气相沉积装置 挡板 拉杆 棱柱 沉积箱 限位槽 弹簧 棱形 物理化学 本实用新型 内腔 顶部设置 活动连接 传统的 易拆卸 拆卸 贯穿 延伸 | ||
1.一种物理化学气相沉积装置，包括第一箱体(1)，其特征在于：所述第一箱体(1)内腔的两侧均固定连接有第一固定块(2)，所述第一固定块(2)的表面开设有第一卡槽(3)，所述第一卡槽(3)的内部活动连接有第一卡块(4)，所述第一卡块(4)的内侧固定连接有沉积箱(5)，所述第一箱体(1)内腔的底部固定连接有第二固定块(6)，所述第二固定块(6)的表面开设有第二卡槽(7)，所述第二卡槽(7)的内部活动连接有第二卡块(8)，所述第二卡块(8)的顶部与沉积箱(5)的底部固定连接，所述第一箱体(1)的顶部固定连接有第二箱体(9)，所述第二箱体(9)的内腔设置有拉杆(10)，所述拉杆(10)的顶部贯穿第二箱体(9)并延伸至第二箱体(9)的外部，所述拉杆(10)的底部固定连接有挡板(11)，所述拉杆(10)的表面套设有弹簧(12)，所述弹簧(12)的底部与挡板(11)的顶部固定连接，所述挡板(11)的底部固定连接有棱柱(13)，所述棱柱(13)的底部依次贯穿第二箱体(9)和第一箱体(1)并延伸至第一箱体(1)的内部，所述沉积箱(5)的顶部开设有棱形限位槽(14)，所述棱柱(13)的底部与棱形限位槽(14)的内部活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种物理化学气相沉积装置，其特征在于：所述第一箱体(1)的左侧固定连接有扶手(15)，所述扶手(15)的表面设置有防滑垫(16)。
3.根据权利要求1所述的一种物理化学气相沉积装置，其特征在于：所述第一箱体(1)的底部固定连接有支架(17)，所述支架(17)的底部活动连接有车轮(18)。
4.根据权利要求1所述的一种物理化学气相沉积装置，其特征在于：所述第一箱体(1)顶部的右侧设置有蒸发源(19)，所述蒸发源(19)的右侧电性连接有控制屏(20)。
5.根据权利要求1所述的一种物理化学气相沉积装置，其特征在于：所述第一箱体(1)的正面通过合页活动连接有箱门(21)。
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