[实用新型]六边形硅片镀膜设备的石墨载板结构

权利要求书

1.一种六边形硅片镀膜设备的石墨载板结构，所述石墨载板具有多个石墨框单元，其特征在于所述石墨框单元呈行列排布，各石墨框单元均呈倒置的正六棱台结构，正六棱台的上底边(1)为石墨边框，正四棱台的六个侧面(2)均为石墨板，正六棱台的上底至下底中空形成空腔(4)；硅片(5)的边长介于上底边(1)与下底边(3)的边长之间，硅片(5)卡置于正六棱台的侧面(2)上。

2.根据权利要求1所述的石墨载板结构，其特征在于所述上底边(1)边长为92mm；所述下底边(3)边长为91mm；侧面(2)的倾角为80°。

3.根据权利要求1所述的石墨载板结构，其特征在于所述上底边(1)的倒角为Φ184mm，所述下底边(3)的倒角为Φ182mm。

4.根据权利要求1所述的石墨载板结构，其特征在于所述石墨框单元的数量为25个，呈五行五列布置，行中相邻的两个石墨框单元邻边平行，列中相邻的两个石墨框单元顶点相对。

5.根据权利要求4所述的石墨载板结构，其特征在于所述行中相邻的两个石墨框单元邻边平行，距离为10mm；列中相邻的两个石墨框单元顶点相对，距离为10mm。