[实用新型]适用于六面形硅片的紧凑型石墨载板结构

说明书

本实用新型公开了一种适用于六面形硅片的紧凑型石墨载板结构，所述石墨载板具有多个石墨框单元，其特征在于各石墨框单元均呈倒置的正六棱台结构，正六棱台的上底边(1)为石墨边框，正四棱台的六个侧面(2)均为石墨板，正六棱台的上底至下底中空形成空腔(4)；硅片(5)的边长介于上底边(1)与下底边(3)的边长之间，硅片(5)卡置于正六棱台的侧面(2)上；所述各石墨框单元呈紧凑型布置：相邻石墨单元的邻边平行且距离相等。生产太阳能电池板的过程中，将硅片经过含本实用新型的PECVD上、下镀膜一体设备后，由于硅片与石墨侧面紧密贴合无缝隙，故制得的电池片正面无白边、无支点印，背面无绕镀，电池片正背面颜色均匀一致。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池板生产设备的技术领域，尤其是涉及六边形太阳能电池板的生产设备，具体是一种适用于六面形硅片的紧凑型石墨载板结构。

背景技术

为了提高电池片的转化效率，在常规电池背面增加背钝化工艺，是目前较为成熟

的技术。PERC电池背面一般采用板式PECVD设备在背面生长出AlOx/SiNx叠层膜，背面完成钝化膜后，进入到下一道工序进行正面SiNx沉积。由于正背面膜分别在不同的设备上完成，一方面增加了自动化及人工投入，导致电池制造成本上升；另一方面，在硅片传输过程中，引入污染和制程异常的几率增加，导致良率下降。目前，已有设备制造厂生产出正背面镀膜一体机，设备主体结构分为三个腔，其中PM1和PM2采用上镀膜方式，在硅片背面分别沉积出AlOx/SiNx叠层膜；PM3采用下镀膜方式，在硅片正面生长一层SiNx薄膜。硅片在镀膜过程中，由于放置在石墨载板上，与载板有一定面积的接触，导致硅片正背面出现支点印、边缘绕镀，严重影响电池片外观及转换效率。

申请人于2017-5-10向国知局申请了申请号为201720514909.8，名为板式PECVD上下镀膜一体设备的石墨载板结构的实用新型专利，并于2017-12-29获得授权，公告号CN206814841U。以解决上述问题。

随着六面形电池板的普及应用，原先的方形电池板的石墨载板结构不能简单替换应用：六面形电池板的专用石墨载板结构参数(六面形特有的单元排列方式；各单元侧面倾角；侧面所围成空腔的深度；上底边/下底边的倒角)均需要重新设计，以满足降低边缘绕镀的要求。

实用新型内容

申请人为解决背景技术中新存在的问题，提出一种适用于六面形硅片的紧凑型石墨载板结构，所述石墨载板具有多个石墨框单元，各石墨框单元均呈倒置的正六棱台结构，正六棱台的上底边(1)为石墨边框，正四棱台的六个侧面(2)均为石墨板，正六棱台的上底至下底中空形成空腔(4)；硅片(5)的边长介于上底边(1)与下底边(3)的边长之间，硅片(5)卡置于正六棱台的侧面(2)上；所述各石墨框单元呈紧凑型布置：相邻石墨单元的邻边平行且距离相等。

具体的，所述上底边(1)边长为92mm；所述下底边(3)边长为91mm；侧面(2)的倾角为80°。

具体的，所述上底边(1)的倒角为Φ184mm，所述下底边(3)的倒角为Φ192mm。

具体的，所述石墨框单元的数量为25个，交错排列，相邻石墨单元的邻边距离为10mm。

本实用新型的有益效果

生产太阳能电池板的过程中，将硅片经过含本实用新型的PECVD上、下镀膜一体设备后，由于硅片与石墨侧面紧密贴合无缝隙，故制得的电池片正面无白边、无支点印，背面无绕镀，电池片正背面颜色均匀一致。

本实用新型的石墨载板中石墨框单元排布紧凑，同数量的石墨框单元所需要的石墨载板尺寸小于其他的排布方式所需要的石墨载板尺寸，节约材料和设备空间。

附图说明

图1为本实用新型的安装整体效果图。

图2为本实用新型的石墨框单元结构图。