[实用新型]一种液晶移相器阵列及激光扫描仪

权利要求书

1.一种液晶移相器阵列，包括多个呈阵列排布的液晶移相器单元，其特征在于，

所述液晶移相器阵列包括相对设置的第一基底和第二基底；

所述液晶移相器单元包括：第一电极、第二电极、第一光波导和位于所述第一基底和第二基底之间的液晶层，所述第一电极位于所述第一基底邻近所述液晶层的一侧，所述第二电极位于所述第二基底邻近所述液晶层的一侧；所述第一光波导设置在所述第一电极邻近所述液晶层的一侧，且与所述液晶层直接接触；

所述第一电极和第二电极上加载的电压不同，能够使入射至所述液晶移相器单元内的所述第一光波导的激光出射至所述液晶层。

2.如权利要求1所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述第一光波导包括第一衬底和第一波导管，所述第一波导管设置在所述第一衬底的邻近所述液晶层的一侧；

所述第一波导管的折射率为n1，所述第一衬底的折射率为n2，所述液晶层的折射率能够在所述第一电极和所述第二电极上加载不同电压的作用下达到n3，其中，n2<n1<n3。

3.如权利要求2所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述液晶移相器单元还包括用于传输激光的第二光波导，所述第二光波导设置在所述第一电极邻近所述液晶层的一侧，并连接于不同的所述第一光波导之间。

4.如权利要求3所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述第二光波导包括第二衬底、第二波导管和遮挡膜层，其中，

所述第二波导管设置在所述第二衬底邻近所述液晶层的一侧，且与所述第一波导管相连通；

所述遮挡膜层位于所述第二波导管邻近所述液晶层的一侧，并至少覆盖所述第二波导管；

所述第二波导管的折射率为n4，所述遮挡膜层的折射率为n5，第二衬底的折射率为n6，n5<n4且n6<n4。

5.如权利要求4所述的液晶移相器阵列，其特征在于，n4＝n1，且n6＝n2。

6.如权利要求5所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述第一波导管和所述第二波导管的材料为石英，和/或，所述第一衬底和所述第二衬底的材料为硅。

7.如权利要求1所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极为条状电极，且所述第一电极与所述第二电极的设置方向均平行所述第一基底，且所述第一电极与所述第二电极的设置方向相互垂直。

8.如权利要求1所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述液晶移相器阵列还包括隔垫物，所述隔垫物设置在所述第一基底和所述第二基底之间。

9.如权利要求8所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述液晶移相器阵列还包括封装胶，所述封装胶位于所述液晶移相器阵列的边缘区域，用于密封所述第一基底和所述第二基底之间的空间。

10.如权利要求1所述的液晶移相器阵列，其特征在于，所述液晶移相器阵列还包括第一取向层和第二取向层，部分所述第一取向层位于所述第一电极邻近所述液晶层的一侧，另一部分所述第一取向层位于未设置所述第一电极的第一基底区域邻近所述液晶层的一侧；部分所述第二取向层位于所述第二电极邻近所述液晶层的一侧，另一部分所述第二取向层位于未设置所述第二电极的第二基底区域邻近所述液晶层的一侧。

11.如权利要求1所述的液晶移相器阵列，其特征在于，还包括定向耦合器，所述定向耦合器设置在所述第一基底上，用于将入射至所述定向耦合器的激光分为多束，并使各束激光分别入射至与所述定向耦合器对应设置的各液晶移相器单元内的所述第一光波导内。