[实用新型]一种静电谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201820369166.4 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN207882297U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 何高法;周明举;孟杰 | 申请（专利权）人： | 重庆科技学院 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙) 50223 | 代理人： | 王玉芝;杨明 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振器 质量块 本实用新型 谐振式加速度计 静电 静电力 加速度计灵敏度 加速度变化量 静电力作用 分离设计 加速度计 品质因子 谐振频率 谐振器梁 谐振状态 直流电压 制造成本 制造工艺 导体 非接触 灵敏度 电极 长程 音叉 施加 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种静电谐振式加速度计，其特征在于，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态。
2.根据权利要求1所述的一种静电谐振式加速度计，其特征在于，所述的至少一个谐振器为一个谐振器，设置于质量块的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种静电谐振式加速度计，其特征在于，所述的至少一个谐振器为两个谐振器，所述两个谐振器分别位于质量块的两侧。
4.根据权利要求1所述的一种静电谐振式加速度计，其特征在于，所述的至少一个谐振器为两个谐振器，两个谐振器位于质量块的同一侧。
5.根据权利要求1所述的一种静电谐振式加速度计，其特征在于，所述的至少一个谐振器为四个谐振器，每两个谐振器组成一个谐振单元，两个谐振器并排设置，质量块的相对两侧各设置一个谐振单元。
6.根据权利要求1～5任意一项所述的一种静电谐振式加速度计，其特征在于，所述谐振器为石英音叉谐振器。
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