[实用新型]真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器，气缸内设有抽拉杆，抽拉杆与缸内活塞连接，抽拉杆活动连接一调节杆，气缸上设有支架，调节杆与支架连接，调节杆上还连接一定位杆，定位杆上设有齿牙，支架上连接抽气管，抽气管内设有活塞，活塞上连接抽气杆，抽气杆与调节杆连接，抽气管上设有一管道接口，气缸上连接一增压缸，增压缸与气缸单向连通，增压缸上设有管道接口。该调节器在本体上设置了气缸，气缸内的抽拉杆可以带动活塞向增压缸内充入气体，增压缸内的高压气体由管道接口进入维持泵管路调节管内气压，该调节器上还设有一抽气管，抽气管也与维持泵管路连接，这样手动可实现对管路气压的调节，提高维持泵的工作稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机的维持泵管路受真空度影响会出现上下管体内压差异的情况，当管内压力差较大的时候会影响维持泵的运行稳定性。

实用新型内容

本实用新型主要是解决现有技术所存在的技术问题，从而提供一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器，包含一气缸，气缸内设有一抽拉杆，抽拉杆的一端与缸内活塞连接，抽拉杆的另一端活动连接一调节杆，气缸的一端设有一支架，调节杆与支架活动连接，调节杆上还活动连接一定位杆，定位杆上设有多个扣接齿牙，支架上固定连接一抽气管，抽气管内设有活塞，活塞上活动连接一抽气杆，抽气杆与调节杆活动连接，抽气管上设有一第一管道接口，气缸的另一端连接一增压缸，增压缸中空且与气缸单向连通，增压缸上设有一第二管道接口。

作为本实用新型较佳的实施例，所述的支架和气缸一体成型。

作为本实用新型较佳的实施例，所述的气缸的缸壁为双层结构。

本实用新型的真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器在本体上设置了一个气缸，气缸内的抽拉杆可以带动活塞向增压缸内充入气体，增压缸内的高压气体由管道接口进入维持泵管路调节管内气压，该调节器上还设有一抽气管，抽气管也与维持泵管路连接，这样通过手动即可实现对管路气压的调节，提高维持泵的工作稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示，一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器1，包含一气缸10，气缸10内设有一抽拉杆20，抽拉杆20的一端与缸内活塞连接，抽拉杆20的另一端活动连接一调节杆21，气缸10的一端设有一支架11，调节杆21与支架11活动连接，调节杆21上还活动连接一定位杆22，定位杆22上设有多个扣接齿牙，支架11上固定连接一抽气管30，抽气管30内设有活塞，活塞上活动连接一抽气杆31，抽气杆31与调节杆21活动连接，抽气管30上设有一第一管道接口32，气缸10的另一端连接一增压缸40，增压缸40中空且与气缸10单向连通，增压缸40上设有一第二管道接口41。