[实用新型]平行曝光灯有效
申请号: | 201820371069.9 | 申请日: | 2018-03-19 |
公开(公告)号: | CN207937758U | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 董清财 | 申请(专利权)人: | 深圳市盛德鑫自动化设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人: | 胡清方;彭友华 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滑动结构 横梁 球面反射镜 驱动装置 曝光灯 平行 横向部 右支架 左支架 本实用新型 方便调节 复眼透镜 拐弯位置 平行光线 上下移动 竖直部 移动端 反射 模组 射出 能耗 照射 开口 驱动 节约 | ||
一种平行曝光灯,包括左支架、右支架和外壳,在左支架上设置有驱动装置和左滑动结构,在右支架上设置有右滑动结构,一横梁的两端分别与左滑动结构和右滑动结构连接,驱动装置的移动端与左滑动结构连接,在驱动装置的驱动下,横梁上下移动;外壳的横向部设置在横梁上,在外壳中设置有UV LED光源、复眼透镜模组和球面反射镜,球面反射镜设置在外壳的拐弯位置中,经过球面反射镜反射后的平行光线从外壳的竖直部的开口射出。本实用新型由于将横梁的两端分别与左滑动结构和右滑动结构连接,外壳的横向部设置在横梁上,方便调节平行曝光灯的照射高度;具有结构简单、能耗少、节约成本、效果良好和寿命长等优点。
技术领域
本实用新型涉及曝光机的曝光照明的技术领域,尤其是涉及一种平行曝光灯。
背景技术
一般印刷电路板或半导体芯片在进行曝光显影制程时,先在被加工物表面上涂上一层光阻,再藉由光源的照射将原稿上的电路布线图案映像至被加工物表面的光阻层上,以使光阻层的化学性质因光源的照射而产生变化,然后再利用去光阻剂来将被光源照射过的光阻或未经曝光的光阻自被加工物表面去除,以形成对应于原稿的线路布局,这种设备称为曝光机。现有曝光机分为散光曝光机和平行曝光机,其中散光曝光机难以达到曝光精度要求,影响了所生产产品的质量,而现有的平行曝光机尽管实现了光源的平行照射,但结构复杂,价格较高,提高了产品生产商的生产成本。
实用新型内容
为了克服上述问题,本实用新型提供一种结构简单、节约成本且效果良好的平行曝光灯。
本实用新型的技术方案是:提供一种平行曝光灯,包括左支架、右支架和外壳,在所述左支架上设置有驱动装置和左滑动结构,在所述右支架上设置有右滑动结构,一横梁的两端分别与所述左滑动结构和所述右滑动结构连接,所述驱动装置的移动端与所述左滑动结构连接,在所述驱动装置的驱动下,所述横梁上下移动;所述外壳的横向部设置在所述横梁上,在所述外壳中设置有UV LED光源、复眼透镜模组和球面反射镜,所述球面反射镜设置在所述外壳的拐弯位置中,经过所述球面反射镜反射后的平行光线从所述外壳的竖直部的开口射出。
作为对本实用新型的改进,所述驱动装置包括驱动电机、丝杆和螺母,所述丝杆与所述驱动电机连接,所述螺母套设在所述丝杆上。
作为对本实用新型的改进,所述左滑动结构包括左直线导轨和左滑块,所述左滑块设置在所述左直线导轨上,所述左滑块分别与所述螺母和所述横梁的一端连接。
作为对本实用新型的改进,所述右滑动结构包括右直线导轨和右滑块,所述右滑块设置在所述右直线导轨上,所述右滑块与所述横梁的另一端连接。
作为对本实用新型的改进,所述左滑动结构设置在所述左支架的内侧上。
作为对本实用新型的改进,所述右滑动结构设置在所述右支架的内侧上。
作为对本实用新型的改进,所述UV LED光源包括UV LED灯珠阵列以及与所述UVLED灯珠阵列的灯珠数量等同的自由曲面准直透镜,且每个所述自由曲面准直透镜一一对应覆盖于所述UV LED灯珠阵列中的单个灯珠上。
本实用新型由于将所述横梁的两端分别与所述左滑动结构和所述右滑动结构连接,所述外壳的横向部设置在所述横梁上,方便调节所述平行曝光灯的照射高度;在所述UVLED光源输出的光束上使用所述复眼透镜模组进行校验,提高了输出光束的均匀度,具有结构简单、能耗少、节约成本、效果良好和寿命长等优点。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图。
其中:1.左支架;11.驱动装置;12.左直线导轨;13.左滑块;2.右支架;3.外壳;31.横向部;32.竖直部;4.横梁。
具体实施方式
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