[实用新型]吸附式治具的弹性体

说明书

一种吸附式治具的弹性体，适用于承载硅晶，包含本体部，及多个吸附单元。所述本体部包括呈矩阵排列的多个气孔。所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔，每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁。所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室的第二内环面，及连接所述外环面与所述第一内环面且适用于接触所述硅晶的接触面。所述第二内环面与所述外环面的径宽大于所述第一内环面与所述外环面的径宽。借此，利用阶层式的吸口与气室，在不影响吸附口径的情形下，提升所述环壁邻近所述接触面的部位的强度，在切割硅晶时，不会扭曲或变形，不但能够稳定地支撑所述硅晶，且能提升所述硅晶的切割质量。

技术领域

本实用新型涉及一种吸附式治具，特别是涉及一种吸附式治具的弹性体。

背景技术

参阅图1，一种中国台湾专利号第M525541号专利案所公开的现有吸附式治具1。包含一个基座11，及设置在所述基座11上且适用于承载一片硅晶2的一个弹性体12。所述弹性体12包括呈矩阵排列且彼此相隔一个间距的多个气孔121，及环绕所述气孔121且界定出开口朝上的多个吸口122的多个环壁123。所述气孔121连通于一个抽气装置(图未示)。借此，当所述气孔121内因为负压作用而产生吸力时，会通过所述吸口122将所述硅晶2吸附在所述环壁123的顶面，进而能够在所述硅晶2被切割成多个晶片时，达到支撑及固定所述硅晶2与所述晶片的目的。

在不损伤所述硅晶2的前提下，所述吸口122的大小，会影响吸附力，因此，吸口122的口径愈大，相对所述硅晶2产生的吸附力就愈强，惟，前述弹性体12通常是软质材料制成，所以，随着所述吸口122的口径愈大，所述环壁123的壁厚就愈薄，且随着所述吸口122的深度愈深，支撑力就愈不足，以致于所述硅晶2被切割时，所述环壁123很容易因为被挤压而扭曲、变形，使所述晶片有边角崩裂的状况。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够提供稳定的支撑效果的吸附式治具的弹性体。

本实用新型的吸附式治具的弹性体，适用于承载一片硅晶，所述弹性体包含：本体部，及多个吸附单元。所述本体部包括呈矩阵排列且彼此相间隔的多个气孔，所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔，每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁，所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室的第二内环面，及连接所述外环面一端缘与所述第一内环面一端缘且适用于接触所述硅晶的接触面，所述吸口与所述气室连通于相对位置的气孔，所述第一内环面与所述外环面的径宽小于所述第二内环面与所述外环面的径宽。

本实用新型的吸附式治具的弹性体，所述吸附单元彼此相间隔且界定出纵向、横向交错的多个切割槽。

本实用新型的吸附式治具的弹性体，每一吸附单元的环壁还具有连接所述第一内环面另一端缘与所述第二内环面一端缘的第一阶面，所述第一阶面沿所述吸口与所述气室的深度方向与所述接触面相隔第一间距。

本实用新型的吸附式治具的弹性体，每一吸附单元的环壁还具有连接所述第二内环面另一端缘与所述本体部的第二阶面，所述第二阶面沿所述吸口与所述气室的深度方向与所述接触面相隔第二间距。

本实用新型的吸附式治具的弹性体，所述第二间距不小于所述第一间距。

本实用新型的有益效果在于：利用阶层式的吸口与气室，在不影响吸附口径的情形下，提升所述环壁邻近所述接触面的部位的强度，进而在切割硅晶时，不会扭曲或变形，不但能够稳定地支撑所述硅晶，且能提升所述硅晶的切割质量。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是一张剖视图，说明中国台湾专利号第M525541号专利案所公开的一种现有吸附式治具的弹性体；