[实用新型]一种激光调值高精度霍尔传感器

说明书

本实用新型涉及一种激光调值高精度霍尔传感器，主要解决现有普通线性霍尔传感器灵敏度变化较大、散差较大；可编程霍尔传感器产品成本高、有时无法实现EEPROM的问题。该霍尔传感器包括霍尔片、温度调节电路、增益调节电路和补偿调节电路；温度调节电路包括缓冲跟随器一、缓冲跟随器二、可调电阻RIa、电阻RIb和运算放大器A1，所述可调电阻RIa和电阻RIb的数量均为两个；增益调节电路包括电阻RF、可调电阻R33和可调电阻R32，补偿调节电路包括可调电阻R30、可调电阻R31、电阻RX和电阻RF。

技术领域

本实用新型涉及线性霍尔传感器领域，具体涉及一种激光调值高精度霍尔传感器及。

背景技术

线性霍尔传感器广泛应用于汽车、工厂自动化和新能源领域，用于测量位移、角度、速度和电流等物理量。半导体器件本身随温度的变化，特性会产生偏移，在半导体线性霍尔传感器制作过程中，由于不可避免的工艺偏差，导致传感器本身性能不一致，产生如下缺陷：1.线性霍尔传感器的灵敏度随温度变化较大；2.不同批次的霍尔传感器的灵敏度不一样；3.无磁场时，各个霍尔传感器的输出不一样，且散差较大，以上缺陷限制了线性霍尔传感器的高端应用。

为解决上述问题，德国Micronas、Infineon、比利时Melexis等公司开发了可编程霍尔传感器芯片，在芯片上集成了EEPROM，需客户自己对芯片现场编程纠正这些误差，但是此种方式导致了如下问题：1.EEPROM的集成电路模块不是标准工艺库中的模块，需单独购买，增加了产品成本；2.需要数字电路支撑该EEPROM，对于特定工艺，如双极工艺，无法实现数字功能，因此无法实现EEPROM；3.针对每个器件EEPROM的编程，不可避免地要耗费人力物力，并且对劳动力的要求较高，提高了芯片的使用成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有普通线性霍尔传感器灵敏度变化较大、散差较大；可编程霍尔传感器产品成本高、有时无法实现EEPROM的问题，提供一种可满足零偏，高灵敏度和温度稳定性的激光调值高精度霍尔传感器。

本实用新型解决上述问题的技术方案是：

一种激光调值高精度霍尔传感器，包括霍尔片、温度调节电路、增益调节电路和补偿调节电路；所述温度调节电路包括缓冲跟随器一、缓冲跟随器二、可调电阻RIa、电阻RIb和运算放大器A1，所述可调电阻RIa和电阻RIb的数量均为两个；所述缓冲跟随器一的输入端和缓冲跟随器二的输入端分别与霍尔片的两个电压输出端连接，所述缓冲跟随器一的输出端通过可调电阻RIa、电阻RIb与运算放大器A1的正输入端连接，所述缓冲跟随器二的输出端通过可调电阻RIa、电阻RIb与运算放大器A1的负输入端连接，运算放大器A1的输出端为霍尔传感器的输出端；所述增益调节电路包括电阻RF、可调电阻R33和可调电阻R32，所述电阻RF的输入端与运算放大器A1的负输入端连接，输出端通过可调电阻R33接地，所述可调电阻R32的输入端与电阻RF的输出端连接，输出端与运算放大器A1的输出端连接；所述补偿调节电路包括可调电阻R30、可调电阻R31、电阻RX和电阻RF，所述可调电阻R30的输入端与霍尔片的电压输入端连接，输出端通过可调电阻R31接地，所述电阻RX的输入端与可调电阻R30的输出端连接，输出端通过电阻RF与运算放大器A1的正输入端连接。

进一步地，所述补偿调节电路设定霍尔传感器的传输函数为：

其中：Vout-霍尔传感器的输出电压；

V_H-缓冲跟随器一或缓冲跟随器二的输出电压；

RI-补偿调节电路的等效输入电阻；

Vs-电源电压。

进一步地，所述可调电阻R32、可调电阻R33、可调电阻R30、可调电阻R31和可调电阻RIa均为CrSi薄膜电阻。