[实用新型]一种高能离子注入机射频加速装置有效
申请号: | 201820388356.0 | 申请日: | 2018-03-21 |
公开(公告)号: | CN207883653U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 刘辉;谢明华;刘蒙瑞;张琪;叶磊 | 申请(专利权)人: | 长沙学院 |
主分类号: | H01J37/30 | 分类号: | H01J37/30;H01J37/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 410022 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调谐 电压控制器 射频 数字移相器 加速腔 高能离子注入机 射频加速系统 通信接口电路 本实用新型 主控计算机 电机 加速装置 半导体制造领域 兆电子伏特能量 检测器 静电四极透镜 离子束能量 射频电源 双腔结构 阻抗相位 离子束 串联 离子 | ||
1.一种高能离子注入机射频加速装置,包括主控计算机,数字移相器,射频加速系统,通信接口电路,射频电源,同步调谐相位、电压控制器,阻抗相位检测器,调谐电机,调谐筒和静电四极透镜,射频加速系统包含有多个双腔结构的射频加速腔、每个射频加速腔连接一个调谐筒,调谐筒连接调谐电机和同步调谐相位、电压控制器,调谐电机还与同步调谐相位、电压控制器相连,主控计算机通过通信接口电路连接数字移相器和每一个同步调谐相位、电压控制器,数字移相器还与每一个同步调谐相位、电压控制器相连接。
2.根据权利要求1所述的一种高能离子注入机射频加速装置,其特征在于:所述的射频加速系统包含有多个双腔结构的射频加速腔,每个射频加速腔独立控制,控制每个腔的时间相位正好与进入腔体的离子束团同步,使得离子进入每个射频加速腔时都可以得到加速,通过多级串联,将离子能量加速至十兆电子伏特以上。
3.根据权利要求1所述的一种高能离子注入机射频加速装置,其特征在于:所述的同步调谐相位、电压控制器包括输入输出接口电路,CAN总线通信接口电路,微控制器,放大器,比较器,电机驱动电路,电机位置检测电路,压力检测电路,模数转换电路,数模转换电路,相位检测电路,电压幅度检测电路,压控振荡器和分频电路。
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