[实用新型]直流放电离子源有效
| 申请号： | 201820389039.0 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN207966915U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 郭方准;于荣环;石晓倩;董华军;臧侃 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/26 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放电腔 冷却壁 进气管 阳极筒 狭缝 阴极 本实用新型 固定法兰 冷却水管 直流放电 离子源 等离子体 冷却水管端部 电场 放电结构 加速作用 接线装置 气体通过 阴极发射 运动路程 中性粒子 放电 气压 嵌有 穿过 封闭 | ||
1.一种直流放电离子源，包括：固定法兰、穿过所述固定法兰的进气管、冷却水管，其特征在于，还包括：设置于所述进气管、冷却水管端部的放电腔，所述放电腔包括带狭缝阳极筒、设于所述带狭缝阳极筒两端的阴极和与冷却水管连接的冷却壁，所述冷却壁上嵌有阴极接线装置，所述带狭缝阳极筒两侧分别嵌于上部冷却壁内和下部冷却壁内，气体通过所述进气管导入并被封闭于所述放电腔内。
2.根据权利要求1所述的直流放电离子源，其特征在于，所述上部冷却壁通过紧定螺钉固接于上盖板，所述下部冷却壁通过紧定螺钉固接于下盖板，所述上部冷却壁与所述下部冷却壁通过定位销和定位螺钉进行固定。
3.根据权利要求1所述的直流放电离子源，其特征在于，所述阴极接线装置包括阴极接线螺钉和阴极接线柱，所述阴极接线螺钉与冷却壁之间安装有内部陶瓷垫圈和外部陶瓷垫圈，所述阴极接线柱设于所述外部陶瓷垫圈外侧，所述阴极接线螺钉上安装有外锯齿形锁紧垫圈。
4.根据权利要求3所述的直流放电离子源，其特征在于，所述阴极与所述内部陶瓷垫圈中间设有调整垫片。
5.根据权利要求1所述的直流放电离子源，其特征在于，所述冷却壁与所述固定法兰之间设有支撑杆。
6.根据权利要求5所述的直流放电离子源，其特征在于，所述支撑杆为四根，其中第一支撑杆和第二支撑管的一端深入上部冷却壁中，另一端与固定法兰焊接，第三支撑杆和第四支撑杆的一端深入下部冷却壁中，另一端与固定法兰焊接，所述第一支撑杆和第二支撑管之间安装第一冷却水管和第二冷却水管，所述第一冷却水管和第二冷却水管之间安装第一进气管；所述第三支撑杆和第四支撑杆之间安装第三冷却水管和第四冷却水管，所述第三冷却水管和第四冷却水管之间安装第二进气管。
7.根据权利要求1所述的直流放电离子源，其特征在于，所述带狭缝阳极筒为无氧铜阳极筒，所述带狭缝阳极筒内部为圆柱表面，设有狭缝一侧安装在外侧。
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