[实用新型]一种高纯双二乙胺基硅烷制备装置有效
| 申请号： | 201820389065.3 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN208218736U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 赵毅;赵趫;王天源;计燕秋;张琳 | 申请（专利权）人： | 大连科利德光电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周媛媛;李馨 |
| 地址： | 116000 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 本实用新型 二乙胺基 精馏塔釜 制备装置 冷凝器 高纯 底部连接过滤器 过滤器 二乙基氨基 反应器顶部 精馏塔顶部 连接接收器 接收器 底部连接 杂质指标 反应器 高k薄膜 电子级 加料器 精馏塔 氧化硅 硅系 制备 生长 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯双二乙胺基硅烷制备装置，其特征在于：包括反应器，反应器顶部设有加料器和冷凝器，冷凝器底部连接过滤器顶部，过滤器底部连接精馏塔釜，精馏塔釜上部连接精馏塔，精馏塔顶部连接接收器A和接收器B。
2.根据权利要求1所述高纯双二乙胺基硅烷制备装置，其特征在于：反应器中设有搅拌装置。
3.根据权利要求1所述高纯双二乙胺基硅烷制备装置，其特征在于：精馏塔中采用2mm石英环填料。
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