[实用新型]风压误报警消除装置

说明书

本实用新型公开了一种风压误报警消除装置，风压误报警消除装置包括：工作腔室；风管，风管的一端与工作腔室连通且另一端与风管厂务端连通；压力检测装置，与工作腔室连通以检测工作腔室内的压力，压力检测装置包括：传感器压力表，用于检测工作腔室内的压力，传感器压力表内气压从工作范围内的值变化到工作范围极限值的时间为T1，工作腔室内气压从工作范围内的值短暂超出工作范围极限值后再恢复到工作范围内的时间为T2；调节阀，与传感器压力表相连，且调节阀调节传感器压力表与工作腔室之间的气体流动速度以使T1和T2满足：T1>T2。根据本实用新型的风压误报警消除装置，有利于解决排风管道内部正常瞬时压力波动对厂务系统造成误报警的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种风压误报警消除装置。

背景技术

相关技术中，在工业生产过程中，工作腔室需要维持一定的压力，腔室压力测量装置是维持压力稳定，保证产品质量的重要因素。

现有设备中，压力测量装置具有工作腔室、风管、压力表、检测管。风管一端连通工作腔室，另一端连通厂务风压系统；检测管连接压力表和工作腔室。然而，上述压力测量装置存在一定的不足：工作腔室由于物料进出、管道被水等瞬时堵塞、厂务压力瞬时波动等因素，工作腔室内压力短暂超出工作范围，虽然不会影响产品生产质量，但却会触发压力检测装置造成误报警，造成设备停机。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种风压误报警消除装置，所述风压误报警消除装置可消除由于瞬时压力波动造成的风压误报警，成本降低。

根据本实用新型实施例的风压误报警消除装置，包括：工作腔室；风管，所述风管的一端与所述工作腔室连通且另一端与风管厂务端连通；压力检测装置，所述压力检测装置与所述工作腔室连通以检测所述工作腔室内的压力，所述压力检测装置包括：传感器压力表，所述传感器压力表用于检测所述工作腔室内的压力，所述传感器压力表内气压从工作范围内的值变化到工作范围极限值的时间为T1，所述工作腔室内气压从工作范围内的值短暂超出工作范围极限值后再恢复到工作范围内的时间为T2；调节阀，所述调节阀与所述传感器压力表相连，且所述调节阀调节所述传感器压力表与所述工作腔室之间的气体流动速度以使T1和T2满足：T1>T2。

根据本实用新型实施例的风压误报警消除装置，通过传感器压力表可以检测工作腔室内的压力，通过调节阀可以调节传感器压力表与工作腔室之间的气体流动速度，从而有利于解决排风管道内部正常瞬时压力波动对厂务系统造成误报警的问题。

另外，根据本实用新型上述实施例的风压误报警消除装置还具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一些实施例，所述压力检测装置通过所述风管与所述工作腔室连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述压力检测装置还包括：检测管，所述检测管的一端与所述工作腔室连通且另一端设有所述传感器压力表，所述调节阀设在所述工作腔室与所述传感器压力表之间；所述传感器压力表通过所述检测管检测所述工作腔室内的压力。

根据本实用新型的一些实施例，所述调节阀为双向调节阀。

根据本实用新型的一些实施例，所述调节阀为两个反向安装的单向调节阀。

根据本实用新型的一些实施例，所述调节阀降低所述传感器压力表和所述工作腔室之间的气体流速，使T1和T2满足：T1>T2。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：