[实用新型]一种用于芯片工厂的节能型冷却系统

权利要求书

1.一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，包括MOCVD设备1a、1b、1c、空调箱2a、2b、冷机3、冷却水换热机组4、蒸汽加换热器5、循环冷却水泵6、冷冻水泵7、热水循环泵8、余热水泵9、工业热泵机组10、电动阀门11、12a、12b、13a、13b、14a、14b等以及对应的管路，并依次相连接，组成一个节能冷却系统；其特征在于通过设计增加余热水泵9、工业热泵机组10、电动阀门11、12a、12b、13a、13b、14a、14b以及对应的管道等，使工业热泵机组10的蒸发器与MOCVD设备1a、1b、1c循环冷却水的出口总管道相连；同时使工业热泵机组10的冷凝器与空调箱2a、2b加热段的循环热水管道相连，这样设计的目的是为了把MOCVD设备原来需要通过冷机进行冷却的热量现在可以通过工业热泵机组进行余热回收，然后再通过工业热泵机组的加工升温后为空调箱加热段提供热水，替代原来冷却和加热工艺中的冷机3和蒸汽加热器5，既节省了冷机3的运行电费又节省了蒸汽加热器5的蒸汽，大大降低了生产成本。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：余热水管道从MOCVD设备冷却水出口依次连接电动阀门12a、余热水泵9、工业热泵机组蒸发器10、电动阀门12b，再回到MOCVD设备冷却水出口管道上，并且在冷却水管道的两个接口之间设计有电动阀门11，形成一个余热水循环回路，并且这两个接口设计在循环冷却水泵的进口前。

3.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：工业热泵机组冷凝器的供回水管道分别连接空调箱加热段进出口的热水管道相连，依次连接有空调箱加热段、热水循环泵8、电动阀门14b、工业热泵机组10冷凝器、电动阀门14a，形成一个余热水循环回路，热水管道的接口设计在热水循环泵的出口处。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：工业热泵机组蒸发器余热水的进出口温度为40～15℃/30～10℃。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：工业热泵机组冷凝器热水的进出口温度为20～50℃/30～60℃。

6.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：工业热泵机组蒸发器的进出口管道上设计有电动阀门。

7.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：工业热泵机组冷凝器的进出口管道上设计有电动阀门。

8.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：蒸汽加热器热水管道的进出口设计有电动阀门。

9.根据权利要求1所述的一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，其特征是：工业热泵机组、冷却水换热机组、MOCVD设备以及空调箱设备可以根据需要从1台到1000台进行随意组合。