[实用新型]一种单晶炉导流筒有效
申请号: | 201820405578.9 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN208121246U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 | 申请(专利权)人: | 阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 810000 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导流筒 单晶炉 导流板 内层 衬板 气缸 本实用新型 纵向温度梯度 保温材料 单晶硅棒 导热系数 活动安装 连杆连接 连杆驱动 传动杆 有效地 氩气流 单晶 腔体 体内 生产 | ||
【权利要求书】:
1.一种单晶炉导流筒,其特征在于:包括外层导流筒、内层导流筒和气缸,所述气缸安装在外层导流筒的外侧,所述外层导流筒和内层导流筒之间形成腔体放置保温材料,所述腔体内设置有衬板,所述内层导流筒的内侧活动安装有导流板,所述导流板与衬板之间通过连杆连接,所述衬板与气缸之间通过传动杆连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒,其特征在于:所述导流板的导热系数大于内层导流筒的导热系数。
3.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒,其特征在于:所述衬板材质与腔体内保温材料的材质一样。
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