[实用新型]垂直面腔表面发射激光器有效
| 申请号： | 201820410100.5 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN208078381U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱明星;周少将;王伟明;李华 | 申请（专利权）人： | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 214213 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射镜层 表面发射激光器 垂直面 布拉格反射镜层 金属反射镜层 层叠设置 源层 源区 | ||
1.一种垂直面腔表面发射激光器，包括：
按顺序层叠设置的第一反射镜层、有源层和第二反射镜层，所述第二反射镜层位于出光侧，所述第一反射镜层位于非出光侧，其特征在于：
所述第一反射镜层包括位于非出光侧的金属反射镜层和介于金属反射镜层与有源层之间第一布拉格反射镜层；以及
所述第二反射镜层包括第二布拉格反射镜层。
2.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，所述第一布拉格反射镜层包括1-15个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
3.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，所述第一布拉格反射镜层包括1-10个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
4.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，所述第一布拉格反射镜层包括1-5个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
5.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，第二布拉格反射镜层包括5-30个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
6.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，还包括设置在金属反射镜层的非出光侧的第一电极层和设置在第二布拉格反射镜层的出光侧的第二电极层。
7.根据权利要求4所述的垂直面腔表面发射激光器，还包括设置在有源层和第二布拉格反射镜层之间的氧化隔离层。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，
所述金属反射镜层包括Cu反射镜层、Ag反射镜层或Au反射镜层。
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