[实用新型]无需移动装填蒸镀料的坩埚有效
| 申请号： | 201820410585.8 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN208136316U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请（专利权）人： | 江阴市光科真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 王威钦 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 装填 装填机构 坩埚本体 本实用新型 自动下料 底壁 坩埚 移动 固定设置 摩擦系数 倾斜方向 倾斜设置 盖板 出料槽 装填槽 装填孔 泄漏 配合 | ||
1.无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构，各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置，倾角范围为15°～45°。
2.根据权利要求1所述的无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体呈矩形槽状，坩埚本体上方设有与坩埚本体一体成型的盖板，盖板上设有出气孔及一个装填孔；所述各向装填机构包括一个与坩埚本体底壁倾斜设置的装填槽，装填槽的槽底板与水平面倾角范围为15°～45°，槽底板上等距设置若干个挡板，挡板的高度低于装填槽槽侧板的高度，槽侧板上设置若干个出料孔，出料孔的高度低于挡板的高度，槽侧板一侧设置倾斜的出料槽，出料槽的上槽口位于出料孔处且槽口大于出料孔、下槽口与坩埚本体底壁相连，出料槽用于装填槽分支方向的出料使得装填时蒸镀料在坩埚主本体内分布均一。
3.根据权利要求2所述的无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，所述装填槽的槽底板与水平面倾角为30°；挡板垂直于槽底板设置，出料孔的间距满足越靠近较低的挡板则间距越大，出料槽的蒸镀料其出料方向与装填槽的蒸镀料其进料方向垂直。
4.根据权利要求3所述的无需移动装填蒸镀料的坩埚，其特征在于，所述挡板上设置出料口，出料口靠近挡板上端设置；所述装填槽其倾斜方向满足装填槽的蒸镀料其进料方向与坩埚本体的长向一致，装填孔位于装填槽上端处。
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