[实用新型]镀膜蒸汽均匀散布的玻璃硬化光学镀膜腔体

说明书

本实用新型公开了镀膜蒸汽均匀散布的玻璃硬化光学镀膜腔体，包括一个一侧设有开口的腔体本体，开口处铰接腔室门；腔体本体或腔室门上设置视窗；腔体内设置镀膜蒸汽均布机构。本实用新型制得的光学镀膜腔体镀膜效果好，由于设置了镀膜蒸汽均布机构，避免了以往蒸镀过程中蒸汽集中在整个腔室中部而导致蒸汽在基材上散布不均匀的问题；甚至可以在不浪费蒸镀料的情况下实现在基材上的均匀散布。

技术领域

本实用新型涉及镀膜蒸汽均匀散布的玻璃硬化光学镀膜腔体。

背景技术

OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。囚为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。

现在的蒸镀工艺都需要经历抽真空、加热及镀膜等一系列过程，而在镀膜之前的加热过程中，由于加热源往往为一个点加热或一个区域加热，无法做到蒸镀蒸汽在基材上散布均匀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供镀膜蒸汽均匀散布的玻璃硬化光学镀膜腔体，镀膜效果好，避免了蒸镀过程中蒸汽集中在整个腔室中部而导致蒸汽在基材上散布不均匀的问题；甚至可以在不浪费蒸镀料的情况下实现在基材上的均匀散布。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计镀膜蒸汽均匀散布的玻璃硬化光学镀膜腔体，包括一个一侧设有开口的腔体本体，开口处铰接腔室门；腔体本体或腔室门上设置视窗；腔体内设置镀膜蒸汽均布机构。视窗为法兰视窗，其安装玻璃为普通钢化玻璃。腔体内设置镀膜蒸汽均布机构，使得蒸镀蒸汽能够均匀地沉积到基片表面，这样镀膜效果好，镀得的膜层厚度均一。

进一步的技术方案是，腔体本体内的蒸发源设置在腔体本体底壁，所述镀膜蒸汽均布机构为转动设置在腔体本体顶壁上的螺旋叶片或螺旋桨，螺旋桨至少包含三片叶片，腔体顶壁内或腔体顶部外表面上设置驱动电机，驱动电机通过连接件与螺旋叶片或螺旋桨相连。若采用螺旋叶片，则需要在螺旋叶片上设置蒸汽通过孔以便使蒸镀蒸汽在螺旋叶片旋转一圈内沉积到基材上的量是基本相同的，保证了蒸汽沉积到基材上的均一性。若为螺旋桨，则需根据腔体的大小及蒸镀的速度选择合适的驱动螺旋桨的电机，使得螺旋桨的转速适中，使得蒸汽并不集中在基片的中部，这样镀得的膜层厚度均一。

进一步的技术方案是，腔体本体由腔体顶板、腔体底板与腔体侧板固定连接形成，腔体顶板和腔体底板相对设置，腔体侧板位于腔体顶板与腔体底板之间。

进一步的技术方案为，腔体本体内的蒸发源设置在腔体底板上，腔体顶板、腔体底板水平设置，腔体侧板垂直设置且呈半圆管状；所述镀膜蒸汽均布机构为均布设置在腔体侧板内的通气管，通气管位于腔体侧板下部、靠近蒸发源处且水平设置，通气管通过气管与腔体本体外的气源相连，通气管的管口位于腔体侧板内侧壁上，通气管与管口处的重锤线呈一夹角α设置，0°＜α＜90°。通过均布设置的通气管以产生螺旋气流，这样不像螺旋桨或螺旋叶片的方案存在遮挡部分在蒸发的蒸镀料的情况，减少了蒸镀料的浪费，节约成本，控制好通气管的气流速度能够既不浪费蒸镀料又能使得蒸镀蒸汽并不集中在基片的中部，而是均匀地沉积到整个基片上，镀得的膜层厚度均一，实现了在不浪费蒸镀料的情况下实现在基材上的均匀散布。

进一步的技术方案为，腔体顶板上设置吊装孔；腔室门及腔室本体内设置冷却水路。