[实用新型]磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置有效
申请号: | 201820417340.8 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN208255386U | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 李大来;蒋乐跃;刘海东 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09 |
代理公司: | 苏州市新苏专利事务所有限公司 32221 | 代理人: | 朱亦倩 |
地址: | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁电阻条 短路条 掩模板 斜坡 磁电阻传感器 倾斜表面 磁场传感单元 取向装置 夹角为 易轴 平行 本实用新型 夹角设置 垂直的 磁敏感 底面 基板 | ||
1.一种磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置,其包括磁电阻传感器和掩模板,所述磁电阻传感器包括:设置于基板上的斜坡,所述斜坡包括底面和倾斜表面,且所述倾斜表面和底面的夹角为斜坡倾斜角α;磁场传感单元,其具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏感轴,所述磁场传感单元包括形成于所述斜坡的倾斜表面的第二磁电阻条和位于所述第二磁电阻条上并与所述第二磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第二短路条,所述第二磁电阻条和第二短路条之间的夹角为γ,
所述掩模板包括位于所述掩模板平面内的第一磁电阻条和与所述第一磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第一短路条,其特征在于,
所述第一磁电阻条和第一短路条之间的夹角设置为β,
其中,tan(β)=tan(γ)cos(α)。
2.根据权利要求1所述的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置,其特征在于,
所述掩模板与所述斜坡的底面平行;
位于所述倾斜表面的第二磁电阻条和第二短路条是通过所述掩模板内对应的第一磁电阻条和第一短路条形成的。
3.根据权利要求1所述的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置,其特征在于,
所述磁场传感单元为各向异性磁阻传感单元。
4.根据权利要求1所述的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置,其特征在于,
所述斜坡为纵长条形,其延伸方向与所述磁易轴方向相同,
所述第二磁电阻条为纵长条形,其延伸方向与所述磁易轴方向相同。
5.根据权利要求1所述的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置,其特征在于,
所述斜坡为梯形横截面,其具有顶面;或
所述斜坡为三角形横截面。
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