[实用新型]一种冷却管外置式光学镀膜腔体

说明书

本实用新型公开了一种冷却管外置式光学镀膜腔体，包括腔体顶板、腔体底板与腔体侧板，腔体顶板和腔体底板水平设置且相对设置，腔体侧板位于腔体顶板与腔体底板之间，腔体侧板垂直设置且呈半圆管状，腔体侧板的一个侧边铰接腔室门；腔体顶板、腔体底板与腔体侧板的外表面固定设置冷却水管，冷却水管上设置增大水管比表面积的分支结构。本实用新型通过分支结构的设计使得光学镀膜的真空腔体其冷却效果更好，延长了真空腔体的使用寿命，分支结构的设计几乎不占用腔体外表面的空间，并未增加整体的体积却大大加强了腔体的冷却管的冷却能力。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却管外置式光学镀膜腔体。

背景技术

OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。囚为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。

现在的蒸镀工艺都需要经历抽真空、加热及镀膜等一系列过程，而由于加热蒸镀料需要很高的温度，目前的镀膜真空腔体都设置了冷却水管通入冷却水循环以降低腔体表面的温升，但为了加强冷却效果就必须增加冷却水管的盘绕或环绕圈数，而腔体表面的空间有限，对于外置式冷却管这种方式，不能设置太多太厚的冷却水管，否则会使得整个腔体的体积增大太多。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种冷却管外置式光学镀膜腔体，真空腔体其冷却效果更好，延长了真空腔体的使用寿命，几乎不占用腔体外表面的空间，并未增加整体的体积却大大加强了腔体的冷却管的冷却能力。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种冷却管外置式光学镀膜腔体，包括腔体顶板、腔体底板与腔体侧板，腔体顶板和腔体底板水平设置且相对设置，腔体侧板位于腔体顶板与腔体底板之间，腔体侧板垂直设置且呈半圆管状，腔体侧板的一个侧边铰接腔室门；腔体顶板、腔体底板与腔体侧板的外表面固定设置冷却水管，冷却水管上设置增大水管比表面积的分支结构。通过分支结构的设置增加了冷却水管的比表面积，这样冷却循环时更给力，冷却效果更好，并未增加多少冷却水的同时却增强了冷却效果。

进一步的技术方案是，分支结构为相邻冷却水管之间设置的分支水管，分支水管与冷却水管垂直设置，分支水管与冷却水管相通形成分支冷却水路，分支水管与腔体顶板、腔体底板或腔体侧板固定连接。这样设置没有占用腔体外表面其他空间，充分利用了冷却水管之间的空间，并且这样增加了冷却水管单位比表面积，增强了冷却效果。

进一步的技术方案是，分支结构为固定连接在冷却水管两侧的散热块，散热块的导热系数高于腔体顶板、腔体底板及腔体侧板的导热系数，散热块固定连接在腔体顶板、腔体底板或腔体侧板上。这样也没有占用腔体外表面其他空间，充分利用了冷却水管之间的空间，并且由于散热块的设置，增强了腔体本身的比表面积，而且当冷却水温度过高时也可以将冷却水的一部分热量通过散热块散热出去，增强了冷却效果。

进一步的技术方案为，分支结构为分支冷却室，分支冷却室与冷却水管相通且固定连接在腔体顶板、腔体底板或腔体侧板上。这样也没有占用腔体外表面其他空间，充分利用了冷却水管之间的空间，并且由于冷却室的设置，增加了冷却水管单位比表面积，增强了冷却效果。