[实用新型]一种调整滤波器频率的装置以及滤波器芯片

说明书

本实用新型提供了一种调整滤波器频率的装置，测试平台上放置有滤波器芯片，滤波器芯片上排列设置有多个滤波器单元体；激光发射器的输出端朝向滤波器芯片，通过XY平面位移调整机构调整激光发射器与滤波器芯片的相对位置，使得激光发射器的输出端对准其中一颗滤波器单元体，根据该单元体表面介电层的材料，设置激光发射器发出的激光波长、输出功率、光斑直径和照射时间；使得激光发射器发出的激光照射在该滤波器单元体的介电层，并蒸发一定重量的介电材料。本实用新型还提供了一种滤波器芯片，采用如上所述装置制备而成。

技术领域

本实用新型涉及一种滤波器，尤其涉及调整滤波器频率的方法和装置。

背景技术

现有技术中，为了调整滤波器的频率，一般有两种做法：

1.用电子或离子源照射整个滤波器芯片，用电子或离子源减小滤波器芯片的介电层厚度。这种方法的局限性在于：其只能针对一块滤波器芯片上所有的滤波器单元体进行统一调整，修正后的滤波器芯片中所有的滤波器单元体上介电层的厚度都是一样的，修正的范围很小，最后得到的滤波器的中心频率分布太大。并且该方法需要在真空环境下进行，工艺也比较复杂。并且，每经过一次修正后，需要进行频率检测，检测后再次进行修正，直到获得满意的中心频率，生产步骤也非常繁琐。

2.方法2是方法1的升级，通过移动离子源或者滤波器芯片，从而实现每次针对某一区域的滤波器单元体进行统一调整。这种方法的局限性在于：其只能针对一块滤波器芯片上某一区域的滤波器单元体进行统一调整，修正后该区域中所有的滤波器单元体上介电层的厚度都是一样的，修正的范围还是不够大，最后得到的滤波器的中心频率分布仍然太大。并且该方法需要在真空环境下进行，工艺也比较复杂。并且，每经过一次修正后，需要进行频率检测，检测后再次进行修正，直到获得满意的中心频率，生产步骤也非常繁琐。

实用新型内容

本实用新型所要解决的另一主要技术问题是提供一种调整滤波器频率的装置，利用该装置能够单独调整每一个滤波器单元体的频率。

为了解决上述的技术问题，本实用新型还提供了一种调整滤波器频率的装置，包括：激光发射器、测试平台、XY平面位移调整机构；所述测试平台上放置有滤波器芯片，所述滤波器芯片上排列设置有多个滤波器单元体；

激光发射器的输出端朝向所述滤波器芯片，通过所述XY平面位移调整机构调整激光发射器与滤波器芯片的相对位置，使得激光发射器的输出端对准其中一颗滤波器单元体，根据该单元体表面介电层的材料，设置激光发射器发出的激光波长、输出功率、光斑直径和照射时间；使得激光发射器发出的激光照射在该滤波器单元体的介电层，并蒸发一定重量的介电材料。

在一较佳实施例中：所述XY平面位移调整机构设置于所述测试平台，用于调整所述滤波器芯片在XY平面上的位置。

在一较佳实施例中：还包括一频率检测装置，所述频率检测装置的测试端连接至被激光照射的那一颗滤波器单元体，并测量该滤波器单元体的实时频率；当该滤波器单元体的实时频率达到目标值时，所述激光发射器停止输出激光。

在一较佳实施例中：所述频率检测装置包括探针座和矢量分析仪；探针座连接至矢量分析仪的测试端、探针座的探针连接至被激光照射的那一颗滤波器单元体。

在一较佳实施例中：还包括矢量分析迅号运算处理器，所述矢量分析仪将该滤波器单元体的实时频率发送至所述矢量分析迅号运算处理器并与目标值进行比对；若达到目标值时，所述矢量分析迅号运算处理器输出控制信号至激光发射器，控制激光发射器停止输出激光。

本实用新型还提供了一种滤波器芯片，采用如上所述的方法制备而成。

本实用新型还提供了一种滤波器芯片，采用如上所述的装置制备而成。

相较于现有技术，本实用新型的技术方案具备以下有益效果：