[实用新型]一种激光化学晶圆平坦化加工裝置

权利要求书

1.一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：包括晶圆固定与操作整合装置、晶圆进出端口、化学品注入装置、位移与传动装置、清洗与干燥装置、激光与控制装置，所述晶圆进出端口连接晶圆固定与操作整合装置，输入晶圆加工并于完成加工后输出晶圆，所述化学品注入装置连接晶圆固定与操作整合装置，所述位移与传动装置连接晶圆固定与操作整合装置，所述清洗与干燥装置连接晶圆固定与操作整合装置，所述激光与控制装置连接晶圆固定与操作整合装置。

2.根据权利要求1所述的一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：所述晶圆固定与操作整合装置包括平坦化操作台、晶圆固定维持环、存取机械手臂、洁净正压操作环境装置。

3.根据权利要求1所述的一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：所述晶圆进出端口包括晶圆输入与输出端口的晶圆输送载具界面。

4.根据权利要求1所述的一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：所述化学品注入装置包括化学品供应桶槽、注入滴头，以及流量控制装置与系统。

5.根据权利要求1所述的一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：所述位移与传动装置包括定位、对准、位移电动机、转动电动机、变速器、转速控制、制动器。

6.根据权利要求1所述的一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：所述清洗与干燥装置包括超纯水、二氧化碳、有机溶剂，及其流量、压力控制系统，以及洁净干燥热空气、氮气供应系统，及其温度、时间、风量控制装置。

7.根据权利要求1所述的一种激光化学的晶圆平坦化加工装置，其特征在于：所述激光与控制装置包括激光光源、电源供应器、光束引导装置、扫描器、反射镜、透镜、以及频率、能量、多波长输出、侦测、控制系统。