[实用新型]一种镀铜化学剂的温控装置

权利要求书

1.一种镀铜化学剂的温控装置，包括第一药剂罐、第二药剂罐、恒温槽、铜液槽、与铜液槽和恒温槽进行热交换的储水箱、与铜液槽和恒温槽进行热交换的冷冻机，第一药剂罐通过第一管道与铜液槽连接，第二药剂罐通过第二管道与铜液槽进行连接，且第一管道和第二管道浸泡在恒温槽内，所述冷冻机和储水箱之间连接有用于冷却冷冻机的循环水管。

2.根据权利要求1所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述铜液槽内设置有热交换管，所述铜液槽内的热交换管的两端分别为第一冷水进水口和第一热水出水口，所述第一冷水进水口和第一热水出水口均通过管道与储水箱和冷冻机连接。

3.根据权利要求2所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述储水箱上设置有冷水出口和热水进口，所述冷水出口上连接有主冷水管，所述主冷水管和第一冷水进水口之间连接有第一冷水支管，所述热水进口上连接有主热水管，所述主热水管和第一热水出水口之间连接有第一热水支管。

4.根据权利要求3所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述冷冻机上设置有主热水进水口、主冷水出水口、副热水出水口和副冷水进水口，所述主冷水管和副冷水进水口之间连接有第二冷水支管，所述主冷水出水口和第一冷水支管之间连接有第三冷水支管；所述主热水管和副热水进水口之间连接有第二热水支管，所述主热水进水口和第一热水支管之间连接有第三热水支管。

5.根据权利要求4所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述恒温槽上设有第二冷水进水口和第二热水出水口，所述主冷水管和第二冷水进水口之间连接有第四冷水支管，所述主热水管和第二热水出水口之间连接有第四热水支管。

6.根据权利要求5所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述第一冷水支管与第三冷水支管连接点的上游的第一冷水支管上设置有第一阀门，所述第二冷水支管上设有第二阀门，所述第三冷水支管上设有第三阀门，所述第四冷水支管上设有第四阀门。

7.根据权利要求6所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述第一热水支管与第三热水支管连接点的上游的第一热水支管上设置有第一阀门，所述第二热水支管上设有第二阀门，所述第三热水支管上设有第三阀门，所述第四热水支管上设有第四阀门。

8.根据权利要求2所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述铜液槽内设有第一温控表和第一电加热管，所述第一冷水进水口设有第一电磁阀。

9.根据权利要求5所述的镀铜化学剂的温控装置，其特征在于，所述恒温槽内设有第二温控表和第二加热管，所述第二冷水进水口设有第二电磁阀。