[实用新型]基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置

权利要求书

1.基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，包括有衬底(6)，其特征在于：所述衬底(6)上铺设有微波传输信号线(3)，所述微波传输信号线(3)两侧分布有地线(4)，所述微波传输信号线(3)的一端连接有悬臂梁(2)，所述悬臂梁(2)的前侧、左侧、右侧及其下方设置有触点分布区域(1)，所述触点分布区域(1)内设置有若干接触点，所述接触点分布区域(1)与微波传输信号线(3)互联，所述悬臂梁(2)下方设置有驱动电极(5)。

2.根据权利要求1所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述接触点分布在微波传输信号线(3)的上表面，或是，所述接触点分布在悬臂梁(2)的下表面。

3.根据权利要求1所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述悬臂梁(2)为单端固支梁结构，所述单端固支梁结构上分布有极板；或是，所述悬臂梁(2)为双端固支梁结构，所述双端固支梁结构上分布有极板；或是，所述悬臂梁(2)为多端固支梁结构，所述多端固支梁结构上分布有极板。

4.根据权利要求3所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述极板为方形，或是所述极板为条形。

5.根据权利要求3所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述极板上分布有若干释放孔。

6.根据权利要求1所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述悬臂梁(2)与微波传输信号线(3)之间采用锚点结构连接。

7.根据权利要求1所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述微波传输信号线(3)、地线(4)均为共面波导传输线结构。

8.根据权利要求1所述的基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述衬底(6)为玻璃式样，或是为陶瓷式样，或是为高阻硅式样。