[实用新型]图案形成片和图案制造装置

说明书

本实用新型涉及图案形成片和图案制造装置，其目的是在片的正表面与反表面之间进行定位，并且在片的两个表面中的每一个上形成图案。图案制造装置(100)包括：形成基座(101)、光束照射窗(102)、光引擎(103)、升降头(104)、头进给机构(105)、以及步进电机(106)。图案形成片(107)是正表面和反表面两者均施加有包含导电材料和光固化树脂的混合物的片。图案形成片(107)设置有至少一个定位基准孔。

本申请基于并要求于2017年4月17日提交的日本专利申请第2017-081401号的优先权的权益，其全部公开内容通过引用合并于此。

技术领域

本实用新型涉及图案形成片、图案制造装置以及图案制造方法。

背景技术

在上述技术领域中，专利文献1公开了一种制造定位销的技术，每个定位销对应于形成在片中的多个基准孔中之一，并且包括小直径部分和基准直径部分，小直径部分和参考直径部分通过逐渐变细的部分连接，延伸穿过基准孔，从而实现定位。

[专利文献1]：日本专利公开第2006-319138号

实用新型内容

然而，在上述文献中描述的技术中，无法对片的正表面和反表面进行定位以及在片的两个表面上形成图案。

本实用新型能够提供解决上述问题的技术。

本实用新型的一个示例方面提供了一种图案形成片，其中正表面和反表面中至少之一施加有包含导电材料和光固化树脂的混合物，图案形成片中设置有至少一个定位基准孔。

本实用新型的另一示例方面提供了一种图案制造装置，其包括：

形成单元，其通过用光束照射上述图案形成片来形成图案；以及

第一销，其能够装配在设置在图案形成片中的定位基准孔中。

本实用新型的又一示例方面提供了一种图案制造装置，其中第一销能够装配在设置在用于调整光束的照射位置的基准图卡(reference chart)中的定位孔中。

根据本实用新型，可以对片的正表面和反表面进行定位，并且在片的这两个表面中的每一个上形成图案。

附图说明

图1A是示出根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的整体布置的透视图；

图1B是根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的局部放大的侧视图；

图2A是示出用于根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光学系统定位的基准图卡的整体布置的视图；

图2B示出用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光学系统定位的视图；

图3A是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的示例的视图；

图3B是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的图案形成表面的视图；

图4A示出用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的双面图案形成过程的视图；

图4B示出用于说明通过根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置在图案形成片的正表面和反表面上形成的图案的视图；

图5是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的另一示例的视图；

图6是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的又一示例的视图；